4200-SCS半导体特性分析系统是用于器件、材料和半导体工艺参数分析的完整解决方案。这种先进的参数分析仪具有无可比拟的测量灵敏度和精度,同时继承了嵌入式Windows操作系统和吉时利交互式测试环境,为半导体科研及产业用户进行半导体器件特性分析提供了直观而高级的功能
特征:
运行 Clarius SWon Win7 嵌入式计算机的直观、触摸屏界面。独特的可选远程前置放大器将 SMU 的分辨率扩展至 10 aACV 仪器使 CV 测量像 DC IV 一样简单用于高级半导体测试的脉冲和脉冲 IV 功能示波器卡提供集成的示波器和脉冲测量功能独立的 PC 提供快速的测试设置、强大的数据分析、图形和打印以及测试结果的板载大容量存储。配备嵌入式测量专业知识和数百个即用型应用测试,用于点击式可靠性测试的内置压力/测量、循环和数据分析,包括五个符合 JEDEC 标准的样品测试集成支持各种 LCR 仪表、Keithley 开关矩阵配置以及 Keithley 3400 系列和 Agilent 81110 脉冲发生器包括用于领先分析探针的软件驱动程序
吉时利 4200A-SCS 半导体参数分析仪表征系统执行实验室级 DC 和脉冲器件表征、实时绘图和分析,具有高精度和亚 fem 到安培的分辨率。Keithley 4200A-SCS 提供同步电流-电压 (IV)、电容-电压 (CV) 和超快脉冲 IV 测量。
吉时利4200-SCS型半导体特征分析系统主要特点及优点:
●直观的、点击式Windows操作环境 ●独特的远端前置放大器,将SMU的分辨率扩展至0.1fA
●用于高级半导体测试的新型脉冲与脉冲式I-V功能
●集成了示波与脉冲测量功能的新型示波卡
●内置PC提供快速的测试设置、强大的数据分析、制图与打印、以及测试结果的大容量存储
●独特的浏览器风格的软件界面,根据器件的类型来安排测试,可以执行多项测试并提供测试序列与循环控制功能
●内置了Stress/Measure,循环和数据分析功能,通过鼠标点击方式就可进行可靠性测试,包括5个JEDEC规范的样品测试
●支持 Keithley590 型与 Agilent 4284/4294型C-V仪、Keithley开关矩阵与Agilent 81110脉冲发生器等多种外围设备