晶圆代工制程竞争赛持续开打，三星看准台积电因华为禁令，而有部份产品出货受阻，积极加速追赶速度。三星日前宣布，5月已开始建置5奈米晶圆厂，预计2021年下半年投产，追赶意味浓厚。
而随着三星新制程建置脚步的加速，EUV军备竞赛同期开启。
EUV 技术与一般制程相比，除了可增加电晶体密度外，更能节省时间，加速产品上市，台积电从7+ 奈米就开始导入EUV 制程，先进制程6 、5 奈米全数都采用EUV ，带动EUV 设备市场逐步扩大。
不过，由于EUV微影设备造价昂贵，全球仅台积电、三星、英特尔具备采购能力，并向独家设备供应商ASML购买设备。ASML就指出，今年第1季已接到11台价值15亿欧元 (折合新台币约491.95亿元)的EUV设备订单。
台湾EUV 周边设备供应商则有家登与帆宣，近期因相关需求强劲，订单能见度高；家登EUV Pod(光罩盒) 已通过ASML 认证，市占率逾7 成，是台积电独家供应商，去年受惠EUV Pod 出货畅旺，获利较前年大增逾10 倍，今年更积极扩建产能，预计完工后产能将提升四倍，满足客户需求。
而三星扩大先进制程，家登已切入三星供应链，成为英特格后的第二供应商，今年供货比重将提升至1 至2 成，推升今年营运续创高。
帆宣则为ASML 代工客制化设备，第2 季产能利用率已达满载，且毛利率优于厂务，有助获利提升，帆宣第1 季因厂务工程认列递延，导致营收衰退，但在客制化业绩支撑下，毛利率、获利均创一年半来新高，法人预计，第2 季获利可望维持上季高档。
随着台积电、三星的EUV 制程陆续投产，英特尔也在加速EUV 进展，EUV 设备将成兵家必争之地，相关设备供应厂商可望受惠成长。