mems压力传感器市场应用主要有机器人，导航和汽车行业中，它采用的是微加工工艺，有着精度高，极高的的温度稳定性和低噪声特性，感兴趣的话就随传感器专家网小编一起来了解下吧!
高性价比
mems是一种简单的高性价比集成方法，能够将精确的多轴惯性检测功能集成到工业系统中。器件出厂前已完成了所有必要的运动测试和校准，大大缩短了系统集成时间。严格的正交对准进一步简化了导航系统中的惯性坐标对准，而SPI和寄存器结构又为数据收集、配置控制提供了简单接口。具体应用包括导航、机器人、平台稳定与控制。汽车行业仍然是MEMS传感器的最大工业用户。直喷系统、汽车安全、轮胎压力监控、制动系统均依赖MEMS传感器。
汽车安全包括车辆底盘侧翻检测，由AnalogDevices提供的mems±300°/s偏航角速度MEMS陀螺仪便是满足这一功能要求的器件针对汽车安全应用的AnalogDevicesmems陀螺仪的功能框图。
微加工工艺
mems陀螺仪采用表面微加工工艺，创造出一款集成在单芯片中的全功能、低成本角速度传感器。这款汽车级陀螺仪在引脚、封装、温度和功能方面完全兼容该供应商的工业级ADXRS652陀螺仪。输出信号RATEOUT(1B、2A)为电压值，与围绕封装上表面垂直轴转动的角速度成比例。输出与给定的基准电源成比例。带宽由外部电容器设定。mems采用7×7×3mmBGA陶瓷封装。倾角传感器是高精度调平和倾角测量仪器的关键元件。
Murata的SCA103T系列是基于3DMEMS的单轴倾角仪产品家族，不但精度高，而且采用了不同的测量原理，可对共模误差和噪声影响进行补偿。这款器件校准精度高，具有极高的温度稳定性、高分辨率和低噪声特性，设计采用坚固的检测元件。这款倾角仪基于过阻尼检测元件，对振动不敏感。据报道，这款产品能承受20，000g机械冲击。