2017年11月10日，在安徽蚌埠举办的中国MEMS传感器暨集成电路产业发展高峰论坛产品发布会上，兵器214所全国率先将该技术“军转民”，实现了MEMS工艺技术的突破，并实现产品化。

中国兵器工业集团，资料图

　　在产品发布会上，MEMS加速度传感器、陀螺仪、微惯性测量单元、振动传感器、压力传感器及其信号处理芯片等产品，以及EMCCD微光成像器件及组件等新产品一一亮相。

　　MEMS技术又称微机械电子系统技术，是一种将微电子技术与机械工程完美融合在一起的工业技术。对于MEMS，可能很多人并不熟悉，其实它早就出现在我们的生活中了。除在智能化弹药等军用领域的广泛应用外，MEMS还获得北斗导航的青睐，修正和提高卫星导航的精度，像无人机、车辆安全检测、VRAR头戴式设备、智能手机，甚至健身手环等常见的电子产品，MEMS也早有涉足。

　　兵器214所副所长徐春叶介绍称，MEMS本身就是双用技术，既可以军用，也可以民用，军民融合是大势所趋。我们所也一直在军用技术民用化、军工技术产业化方面不懈探索和尝试。

　　就技术体系和产业链而言，MEMS有很强的创新驱动发展优势，兵器214所将结合汽车、电子信息、物联网、智能手机等民用领域特点，加速推进军工技术转化，通过军民深度融合实现社会资源大整合。

　　据悉，兵器214所即华东光电集成器件研究所，是中国兵器工业集团公司直属的唯一的微电子技术专业研究所。“十一五”末以来，一直致力于MEMS产品的研发。目前，该所已具备比较完善的MEMS设计平台、工艺加工平台和测试平台，已形成抗高冲击高G值加速度传感器、高精度抗高冲击低G值加速度传感器产品，高精度抗高冲击MEMS陀螺仪、微惯性测量单元、三轴MEMS振动传感器组件，以及MEMS高温压力传感器等系列化产品。