关注传感器专家网公众号，获取传感器热点资讯、知识文档、深度观察
昨日，英特尔宣布收购以色列最大的高塔半导体，高塔半导体同时也是全球MEMS TOP 10 代工厂。
本文主要统计了全球MEMS 产业 TOP 17 家实力最强代工厂排行和产线、技术等情况介绍，以MEMS代工年度销售市场份额排序。
中国赛微电子旗下Silex位列全球MEMS代工厂产线第一，超越全球MEMS代工巨头Teledyne DALSA，恭喜！
随着物联网、人工智能、自动驾驶等先进技术的快速普及，全球传感器市场迎来了前所未有的繁荣景象，而其中，以MEMS为代表的传感器更是占了大头。
根据著名市场咨询研究公司Yole Développement在2021年7月的报告预测，到 2026 年 全球MEMS 市场预计将达到 182 亿美元，复合增长率约为 7% CAGR，全球约60%的MEMS 市场份额由消费电子市场主导。
Yole特别指出，2020-2026全球MEMS器件市场都将持续增长，其中微型麦克风、惯性和光学MEMS是最值得关注的、增长最快的领域。
受益于MEMS全球市场的高增长，MEMS制造和代工市场也异常火爆。在中国，近几年包括赛微北京8英寸、奥松广州6英寸、西人马泉州8英寸MEMS产线等纷纷上马。关于中国MEMS产线具体情况，参看《2022中国33条MEMS传感器芯片产线大盘点（全网最全）》内容。
每家MEMS代工公司都有自己特有的优势，不同的MEMS代工，擅长不同的工艺。总的来说，MEMS代工工厂大致可分为四个类型：1、向硅晶圆代工厂提供MEMS代工服务；2、OEM供应商的MEMS代工厂；3、IDM的MEMS代工厂；4、纯MEMS代工厂。
近几年，Fabless模式的MEMS器件研发公司发展迅速，国内MEMS第一股敏芯股份就是典型的Fabless MEMS研发企业。因此，独立的MEMS代工厂正积极寻求标准化的工艺，以减少制造时间并降低成本，获得更强的市场竞争力，从而提升规模经济效益。
虽然独立的MEMS代工厂正快速成长，但MEMS产品种类丰富、功能各异，工艺开发过程中呈现出“一类产品，一种制造工艺”的特点。MEMS芯片或器件，个性特征明显，除了采用相同的硅材料外，不同的MEMS产品之间没有完全标准的工艺，因此目前IDM代工仍处于市场领导地位。从全球市场规模看，中国MEMS代工企业占比较小，属于Others。根据目前小编能找到的最新的全球MEMS代工厂商销售数据显示，全球提供MEMS代工的IDM厂商主要有意法半导体（ST）、索尼、德州仪器（TI）等；台积电作为全球最大的晶圆代工厂，其MEMS业务虽然占比不大但仍排在业界前列。
全球领先的纯MEMS代工厂有Silex Microsystems、Teledyne DALSA、Asia Pacific Microsystems、X-FAB 、Innovative Micro Technology等。国内的中芯国际、华虹宏力、上海先进半导体等晶圆代工厂也有MEMS生产能力和业务，参看《2022中国33条MEMS传感器芯片产线大盘点（全网最全）》内容。
下面，我们讲讲这些全球TOP的MEMS代工厂商的情况。
1、Silex Microsystems AB
2020年MEMS代工销售额：8800万美元
2019年MEMS代工销售额：8000万美元
Silex Microsystems AB位于瑞典Jarfalla，是一家纯MEMS代工厂，目前在全球纯MEMS代工厂中份额排名第第一。
Silex现为中国赛微电子旗下子公司，2015年7月13日，赛微电子（当时为耐威科技）通过旗下香港投资控股公司GAE Ltd.收购了Silex 98％的股份，Silex的大股东们：CapMan，Priveq，Northzone和Startupfactory同意了出售手上持有的所有股份，Silex正式成为一家由中国民营企业控股的MEMS半导体企业。
赛微电子在获得对Silex的控股后，于北京建设了8英寸MEMS产线（北京FAB3），以扩大该公司的产能。2021年6月北京FAB3一期建成投产，目前月产约1万片，FAB3二三期工程正在进行，全部投产后，预计FAB3总产能达3万片每月。
今后，Silex的研发和小规模生产将继续在瑞典Jarfalla进行，而大批量生产将转移到北京。
Silex的优势在于使用其自有的硅通孔（TSV）技术，Silex还使用锆钛酸铅作为压电材料，用于能量收集等新型应用。
2021年10月Silex专项技术出口许可申请被瑞典当局否决，赛微电子将无法通过子公司Silex获取相关MEMS核心技术，需要自主独立探索后续MEMS技术细节。
2、Teledyne DALSA
2020年MEMS代工销售额：8350万美元
2019年MEMS代工销售额：8600万美元
Teledyne DALSA目前是全球第二大的纯MEMS代工厂，在此之前它一直是全球TOP1，被Silex超过。Silex得益于被赛微电子收购后获得的中国市场，MEMS代工份额有所增长。
Teledyne DALSA前身为DALSA Corporation，是一家加拿大公司，专门设计和制造专业电子成像组件（图像传感器，相机，图像采集卡，成像软件），以及专业半导体制造（MEMS，高压ASIC）。Teledyne DALSA是Teledyne Imaging集团的一部分，Teledyne成像集团是Teledyne旗下的成像公司。
3、SONY
2020年MEMS代工销售额：6300万美元
2019年MEMS代工销售额：6700万美元
SONY索尼是全球最知名的消费电子巨头之一，大家都耳熟能详。
索尼半导体制造公司利用其在制造 MEMS 和半导体技术加工方面的丰富经验，提供广泛的 MEMS 代工服务，包括晶圆工艺开发（开发、工程样品、小批量至大批量生产）、可用流程有批量工艺（包括SOI）、表面工艺、半导体工艺，MEMS产线位于日本鹿儿岛。
索尼目前是全球第三大MEMS代工企业，同时索尼也是全球图像传感器第一企业，图像传感器市场占比近40%。中国韦尔股份旗下豪威科技位列图像传感器第三，是中国传感器产业为数不多的亮点，具体参看《中国芯片首富，居然出自传感器》内容。
4、TSMC（台积电）
2020年MEMS代工销售额：6300万美元
2019年MEMS代工销售额：5910万美元
TSNC（台积电）是全球晶圆代工厂一哥，近两年来受疫情和半导体芯片短缺影响而风光无限，台积电不仅是全球晶圆代工TOP 1，其MEMS代工业务也在全球排名TOP 4，MEMS代工销售额与索尼并列。
台积电拥有全球先进的MEMS工艺技术，在2011年推出了全球首款传感器SoC工艺技术，该技术通过整合台积电的CMOS和晶圆堆叠技术，制造单片MEMS。
台积电传感器SoC技术的制程范围从0.5μm到0.11μm，支持G-Sensors，陀螺仪，MEMS麦克风，压力表，微流体和生物基因芯片等应用。
台积电于2017年成立了Piezo技术试验线，可帮助客户设计和开发用于医疗和健康应用的微型扬声器、麦克风、超声波传感器和各种类型的执行器。压电技术是MEMS的一个新领域，具有很大的发展潜力。新型压电薄膜材料已经过预先定性，因此客户可以专注于产品设计和架构，以实现最佳的产品上市时间。
5、X FAB
2020年MEMS代工销售额：4440万美元
2019年MEMS代工销售额：3810万美元
X-Fab是一家德国企业，总部在爱尔福特，主要代工生产模拟和混合信号集成电路，以及高压应用MEMS解决方案。德国是全球传感器大国之一，德国的博世（BOSCH）是全球两大MEMS巨头之一，得益于优秀的市场，X-Fab成为全球TOP 5的MEMS代工厂。
2011年，X-FAB集团收购了位于德国伊策霍 (Itzehoe)的MEMS 厂商 GmbH的股份，该公司是弗劳恩霍夫硅技术研究所（ISIT）的衍生公司。这成为X-FAB 在Itzehoe 的专用MEMS代工厂。
6、ASIA PACIFIC MICROSYSTEMS
2020年MEMS代工销售额：3000万美元
2019年MEMS代工销售额：2400万美元
ASIA PACIFIC MICROSYSTEMS（APM）成立于2001年，是全球主要的MEMS组件开发和生产商。早期，APM作为MEMS器件的集成器件制造商运营，特别强调压力传感器和光学元件的产品开发。几十年来，APM在开发各种MEMS器件方面积累了丰富的经验，包括传感器、执行器和微型元件。
自2007年以来，凭借其在MEMS方面的生产和专业知识，以及丰富经验，该公司的业务重点转为纯粹的MEMS代工，通过扩展更先进的MEMS组件的开发来发展业务。APM目前拥有一个6英寸晶圆厂，拥有专用的微机械加工工具以及完整的MEMS加工能力。
7、IMT
2020年MEMS代工销售额：2400万美元
2019年MEMS代工销售额：2300万美元
IMT（Innovative Micro Technology）成立于2000年1月，专门生产MEMS（微机电系统）器件，是复杂MEMS技术和平台解决方案提供商，提供从设计和开发到原型设计和批量生产的全面交钥匙服务。IMT 目前在不同应用领域拥有超过 30 个客户。
IMT的全自动MEMS生产工厂可以满足客户对6英寸和8英寸的批量需求。与CMOS工厂不同，其优势在于金属、聚合物和其他材料的灵活性，以及硅、SOI、玻璃（熔融石英、石英、硼硅酸盐）和III-V基板的经验。
8、Philips Innovation Services
2020年MEMS代工销售额：2300万美元
2019年MEMS代工销售额：2100万美元
飞利浦是全球电子业巨头，Philips Innovation Services（飞利浦创新服务部）是其一部分，在荷兰埃因霍温运营着一座MEMS晶圆代工厂。虽然飞利浦早年将半导体业务拆分，独立成立恩智浦半导体公司（NXP），之后退出半导体制造业。但飞利浦仍然保留了荷兰埃因霍温的晶圆代工厂，因此该MEMS代工市场份额属于飞利浦而非NXP。
该晶圆厂随后被用于在内部和外部提供MEMS和微装配服务。在2,650平方米的洁净室中雇用了大约140人，其中大约70人从事MEMS工作，70人从事微型装配。该团队可以为MEMS工艺开发以及MEMS制造和原型制作提供帮助。
飞利浦的MEMS代工厂能够处理从Ag到Zn的材料，包括CMOS禁止材料、合金、电介质和聚合物，如Parylene，并且可以将它们放置在各种基板上，包括硅、化合物半导体和玻璃。
该厂可以生产各种类型的MEMS设备，特别是在印刷和医疗电子应用中生产微流体设备方面成绩斐然。该集团还提供各种晶圆键合技术，包括专有的粘接技术，MEMS-last CMOS晶圆集成和后端工艺，如微装配和MEMS器件测试。
9、VIS-Vanguard（世界先进）
2020年MEMS代工销售额：2200万美元
2019年MEMS代工销售额：2000万美元
VIS（世界先进积体电路）是我国宝岛台湾TOP晶圆代工厂之一。2019年，世界先进以2.36亿美元收购了Globalfoundries（格芯）新加坡8吋厂，包含厂房、厂务设施、机器设备与 MEMS IP等业务，该厂现有月产能约 3.5 万片 8 吋晶圆。该厂的核心业务是MEMS 代工。因此世界先进顶替了之前格芯的MEMS全球市场份额。
10、Tower Jazz
2020年MEMS代工销售额：1960万美元
2019年MEMS代工销售额：1920万美元
Tower Jazz（高塔半导体）1993年于以色列成立，成立后相继收购了美国国家半导体、美光、Maxim Integrated Products等公司的晶圆厂，以及晶圆代工厂商Jazz Semiconductor公司，后改名Tower Jazz。高塔半导体式以色列第一大晶圆代工厂，也是全球主要晶圆厂之一。
TowerJazz提供大批量MEMS制造解决方案，支持高端加速度计、陀螺仪、振荡器、电源管理控制器、音频传感器和执行器、射频MEMS调谐器、红外像素阵列传感器以及驱动器等应用。
TowerJazz在全球的6英寸，8英寸和12英寸制造工厂中，将新技术从创意转化为批量生产，拥有超过15年的大批量MEMS制造能力。
2022年2月15日夜间，英特尔和高塔半导体宣布达成协议，英特尔将以每股53美元的现金收购 Tower，本次交易案的总价值约为 54 亿美元。
11、UMC
2020年MEMS代工销售额：1480万美元
2019年MEMS代工销售额：1370万美元
UMC（联华电子）成立于1980年，是我国宝岛台湾的主要晶圆代工厂之一。联电大部分的十二吋和八吋晶圆厂及研发中心位于台湾，另有数座晶圆厂在亚洲其他地区。联电现共有十二座晶圆厂，月产能总计约80万片，主要为八吋成熟制程晶圆。
联电的MEMS代工产线主要为8英寸晶圆线，包括麦克风、惯性传感器、压力传感器和环境传感器（温度/湿度传感器、气体传感器）等MEMS产品，已经出货超过数十万片晶圆。
12、STMicroelectronics
2020年MEMS代工销售额：1300万美元
2019年MEMS代工销售额：1100万美元
STMicroelectronics（意法半导体，ST）是一家国际性IDM企业，总部在瑞士日内瓦。意法半导体也是全球传感器巨头，全球TOP 4的MEMS传感器厂商，其MEMS代工销售额主要来自于自身传感器业务的需求。
13、ROHM
2020年MEMS代工销售额：800万美元
2019年MEMS代工销售额：850万美元
ROHM（罗姆）是全球知名的半导体和传感器厂商，擅长利用薄膜压电元件的MEMS工艺，基于其子公司LAPIS Semiconductor Miyazaki建立的制造工艺，可提供针对各种市场和应用而优化的压电MEMS。
ROHM的MEMS工艺利用薄膜压电元件提供的主要优点包括：综合生产系统中，可实现高质量和灵活的产品制造和控制；使用6英寸和8英寸晶圆；全天候运行可加速开发，同时实现早期生产启动。
14、Silicon Sensing
2020年MEMS代工销售额：560万美元
2019年MEMS代工销售额：650万美元
Silicon Sensing 成立于 1999 年，其前身是成立于1913年的 Sperry Gyroscope 公司，主要专注于陀螺仪和惯性传感器领域，在复杂惯性系统及其应用中拥有深厚的积累。1999年由英国柯林斯航太公司 (Collins Aerospace)和日本住友精密制造（Sumitomo Precision Products）共同改制而成。Silicon Sensing 的MEMS产线位于日本尼崎市 (Amagasaki)。
15、BOSCH
2020年MEMS代工销售额：600万美元
2019年MEMS代工销售额：600万美元
BOSCH（博世）是一家德国半导体和电子业巨头，与美国博通合称为全球MEMS两大巨头。近几年，随着博世传感器业务的蓬勃发展，博世一家甩开博通，逐渐成为全球MEMS传感器第一企业。
博世的MEMS代工销售额全部来自自己的MEMS传感器需求，是一家典型的IDM厂商。博世所有 MEMS 传感器均在德国罗伊特林根 (Reutlingen)制造，制造过程需要三个多月的时间，数百个步骤。
16、Semefab
2020年MEMS代工销售额：650万美元
2019年MEMS代工销售额：590万美元
Semefab成立于1986年，位于英国苏格兰，以Fabless芯片设计公司起家，后拥有自己的晶圆产线，目前MEMS代工是Semefab的最大业务版块。
Semefab生产各种MEMS传感器，可为全球许多OEM提供代工服务。产品包括气体流量传感器，基于质量流量原理的客户定制技术，薄膜上带有微加热器和温度传感器；气体浓度传感器，采用定制技术，可实现基于特定气体的电阻变化；应变计，使用专用材料的压电效应定制技术。此外，还有液体粘度传感器和血液分析传感器等。
Semefab有一系列的专有技术，如Micro Hot Plate，可创建适用于气体光谱测定的宽带红外（IR）光源；热电堆，用于非接触温度检测；呼吸传感器，易于佩戴，用于监测呼吸状况，睡眠呼吸暂停等。
17、Tronics Microsystems
2020年MEMS代工销售额：410万美元
2019年MEMS代工销售额：340万美元
Tronics Microsystems成立于1997年，是TDK温度和压力传感器业务集团的一个部门，也是纳米和微系统领域的技术领先厂商。针对电子设备日益小型化的高增长市场，该公司提供定制和标准产品，特别是工业、航空、安全和医疗市场。
Tronics在使用特殊金属、敏感DRIE、晶圆级封装、纳米压印、玻璃加工、SOI等工业化复杂MEMS方面拥有丰富的经验。该公司在法国格勒诺布尔和美国德克萨斯州达拉斯拥有两家晶圆厂，工艺组合非常广泛，可满足小批量高性能器件和大批量消费类芯片需求。
Tronics在许多不同应用中开发和生产MEMS器件方面拥有丰富经验，包括：BioMEMS、高性能惯性MEMS、RF MEMS开关、微镜、热敏打印头、医疗设备MEMS等。
结语
中国传感器技术卡脖子的地方很多，但其中最为致命和严峻的部分就是传感器芯片。
除了由赛微电子收购的瑞典Silex位列全球MEMS代工厂家TOP 1外，没有其他中国MEMS厂商进入，歌尔股份、瑞声科技等我们熟知的中国MEMS巨头，也仅是Fabless企业。
然而中国企业想要通过收购国外半导体巨头，一举掌握先进半导体技术的野心，也已被欧美日政府卡死。瑞典政府否决赛微电子旗下的Silex专项技术出口许可申请，就是前车之鉴。
中国传感器、半导体之路困难重重，还需积累和突破。