测试服务项目
共进微电子提供针对气体传感器的标定测试服务。
重点性能参数包括：检测范围、灵敏度、响应时间、重复性、线性度、分辨率、工作温度范围、交叉干扰等。
气体传感器集成化测试校准系统，用于MEMS压力和温度传感器的自动化测试处理系统，可升级转换套件和刺激室用于声学传感器和其他传感器的测试，2个独立的气压腔体，同时支持2*280测试工位。
具有以下主要技术指标：
l 温度范围：-40 至 +150℃；
l 温度精确度：± 0.4℃；
l 温度稳定性：± 0.3℃；
l 压力范围：0~2bar abs
l 精确度: 0.001%FS 以上
l 压力精度：±10pa
l 可校准压力精度：±80pa
l 最大产出 ＞22K/小时
l 支持封装形式：QFN，LGA等