测试服务项目
共进微电子提供针对MEMS晶圆测试服务。可测传感器类型包括加速度计、陀螺仪，压力传感器等。
可测性能参数包括：静态电容、漏电流、谐振频率、Q值、决定因数cd、Drive sense 幅值和相位、正交误差。
MEMS晶圆测试系统使用国际知名品牌探针台搭配全球大型传感器IDM公司首选MEMS晶圆专用测试仪，可实现MEMS晶圆的自动化测试，此种MEMS晶圆专用测试仪用于在全异步模式下执行测试程序，从而确保达到最高的并行测试效率。
其主要特点包括：
l 支持8英寸、12英寸晶圆测试
l 探针压力：300Kg
l 定位精度：+/- 1um
l 5000+测试通道
l 多站点效率＞99.5%
l 电容测量精度~1fF
l 电流测量精度~1pA