耳温枪、额温枪等非接触测温工具是当前对发热筛查的主要仪器，其核心部件MEMS红外温度传感器长期主要依赖进口。近日，中国兵器工业集团电子院华东光电集成器件研究所通过技术攻关，已完成传感器芯片各类单项试验，性能指标精度达到0.1℃，抗干扰能力优于目前市场主流产品。预计在3月底完成芯片样品研制。4月初可大量投放市场。
封装后的MEMS红外智能传感器芯片
芯片是半导体元件产品的统称，在电子学中是一种把电路（主要包括半导体设备，也包括被动组件）等小型化的方式，并时常制造在半导体晶圆表面上。集成电路的分类方法很多，依照电路属模拟或数字，可以分为：模拟集成电路、数字集成电路和混合信号集成电路（模拟和数字在一个芯片上）。
因疫情防控、复工复产需要，高性能耳温枪和额温枪等非接触式人体测温工具MEMS红外传感器有了上百万颗的订货需求。华东光电集成器件研究所自1月底紧急调整产品研制计划，提前复工复产，组建党员突击队和技术攻关小组，24小时不间断轮班开展研制工作，目前已完成传感器芯片各类单项试验，预计在3月底完成芯片样品研制。
同时，该所还采购全自动化组封装关键设备、补充芯片制造的关键设备，推动传感器芯片制造、组封装的国产化，月产能从目前的2万颗提升到100万颗以上，4月初可大量投放市场。
作为国家发改委MEMS国家地方联合工程实验室和兵器工业集团微系统制造技术创新中心，华东光电集成器件研究所具有MEMS传感器芯片设计、制造、封装、测试等完整的科研能力，通过技术创新取得MEMS传感器多项技术成果，下一步将开发相关测温产品，满足疫情防控、复工复产等高精度人体测温需要。
延伸阅读：红外温度传感器原理
热传感器是利用辐射热效应，使探测器件接收辐射能后引起温度升高，进而使传感器中一栏与温度的性能发生变化。检测其中某一性能的变化，便可探测出辐射。在自然界中,当物体的温度高于绝对零度时，由于它内部热运动的存在,就会不断地向四周辐射电磁波，其中就包含了波段位于0.75～100μm 的红外线，红外温度传感器就是利用这一原理制作而成的。
红外线是一种人眼看不见的光线，但事实上它和其它任何光线一样，也是一种客观存在的物质。任何物体只要它的温度高于热力学零度，就会有红外线向周围辐射。红外线是位于可见光中红色光以外的光线，故称红外线。它的波长范围大致在0.75~100μm的频谱范围之内。
红外辐射的物理本质是热辐射。物体的温度越高，辐射出来的红外线越多，红外辐射的能量就越强。研究发现，太阳光谱的各种单色光的热效应从紫色光到红色光是逐渐增大的，而且最大的热效应出现在红外辐射的频率范围之内，因此人们又将红外辐射称为热辐射或者热射线。
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