气体半导体传感器,是我们生活较为常见的一类气体传感器。它的灵敏度高、响应速度快、非常便于集成化，是一类重要的气体传感器。目前在很多领域中，气体半导体的应用是比较多的。那么气体半导体传感器的检测原理是什么呢？接下来，一起来了解一下吧！

气体半导体传感器的检测原理

气体半导体传感器主要是依据氧化还原反应，由此分析记录传感器电阻值的变化，进而对监测被测气体。

气体半导体传感器是采用气体在半导体表面的氧化还原反应造成敏感元件电阻值产生变化而做成的。当半导体器件被加热到稳定状态，在气体接触半导体表面而被吸附时，被吸附的分子结构最先在物体表面自由扩散，失去运动能量，一小部分分子结构被蒸发掉，另一小部分残留分子结构产生热分解吸附在物体表面。当半导体的功函数小于吸附分子结构的亲和力，则吸附分子结构将从器件夺走电子而变成负离子吸附，半导体表面呈现电荷层。

气体半导体传感器分类有哪些

目前，气体半导体传感器可根据不同依据来实现划分，下面是常见的分类：

相比于气体半导体传感器，根据半导体与气体的相互作用是在其表面还是在其内部，可分成表面控制型和体控制型两种。

根据半导体变化的物理性质，又可分成电阻型和非电阻型两种。

电阻型气体半导体传感器是采用半导体接触气体时其阻值的变化来检测气体的成分或浓度值；

而非电阻型气体半导体传感器则是依据对气体的吸附和反应，使半导体的一些特性产生变化对气体实现直接或间接检测。

关于气体半导体传感器检测原理的介绍就到这里了，在您看完本文以后，相信您对于气体半导体传感器的认识也能够更加深入一些了！气体半导体传感器的检测灵敏度高，响应快，相信在未来的气体半导体传感器市场中也能够有着更好的发展前景！