霍尼韦尔Honeywell AWM40000系列气体流量传感器概述
霍尼韦尔AWM40000系列质量流量传感器家族基于可靠的微桥技术，产品包括信号放大调理类型和无放大类型。其中，AWM42150VH和AWM42300V是无放大型传感器，与上述两款产品相比，带放大型的AWM43300V和AWM43600V已装配差分放大电路、发热控制电路和传感桥供电电路，有助于提高输出增益和调节电压偏移。
AWM40000 系列包括不带放大和放大/ 信号处理的信号。AWM42150V 和AWM42300，使用和AWM2000 相同的电路。AWM43300V 和AWM43600V 使用和AWM3000 相同的电路。AWM43600V 为6SLPM 器件。
微桥气体质量流量传感器的工作原理是热传递。气体质量流量经引导流过传感元件的表面。输出电压与流过封装进出口的空气或其他气体质量成正比。特殊设计的外壳精确地引导和控制气流流过微结构传感元件。封装的机械设计能够轻松将其安装在印刷电路板上。
微桥气体质量流量传感器内含一块独特的基于先进微结构技术的硅芯片。该芯片采用薄膜和绝热桥结构，内含加热器和温度传感元件。桥结构能够快速灵敏地响应流过芯片的空气或其他气体气流。中心加热元件两侧的双传感元件还能指示气流流过的方向和速率。激光修正的厚膜和薄膜电阻保证了从每个传感器之间始终具有一致的可互换性。
微桥气体质量流量传感器利用包裹在氮化硅薄膜中的热电阻。这些电阻呈悬浮状态，在硅片的刻蚀腔上方形成两座桥。芯片置于精确规格的气流通道，提供可重复的流量响应。通过在流量传感桥下刻蚀空腔，发热器和传感电阻能实现高效的热隔离。微桥式气体质量流量传感器的小尺寸和热隔离功能实现对气流的极速响应及高灵敏度。
惠斯通双桥控制气流测量——一个提供闭环发热器控制，另一个包含双感应元件。加热器电路通过提供与质量流量成正比的输出，最大程度地降低环境温度变化导致的输出变化。此电路可维持加热器的温度以高于环境温度 (160 °C) 恒定温差，而环境温度则由芯片上的热电阻测量得知。装置的输出与电源电压成比例，也与惠斯通电桥电路的差分电压相对应。
注意：产品损伤
AWM 系列微桥式气体质量流量传感器不适用于测量液体流量，液体流过传感器时会损坏传感器。
霍尼韦尔Honeywell AWM40000系列气体流量传感器优势特点
多个集中安装/O形密封圈
陶瓷流量管（无引气管），0-1000sccm
塑料流量管（无引气管），0-6SLPM
高共模压力（150psi）
工作温度可至125℃
零点和满量程高稳定性
霍尼韦尔Honeywell AWM40000系列气体流量传感器的典型应用
呼吸机
气体分析仪
制氧机
过程控制
通风设备
气体监测仪表
低功耗手持设备
霍尼韦尔Honeywell AWM40000系列气体流量传感器产品规格
AWM4150H | AWM42300V | AWM43300V | AWM43600V | |
流量范围 | ±25sccm | ±1000sccm | ±1000sccm | |
输出电压 | ||||
@标定点 | 8.5±1.5mV | |||
@25sccm | 54.7±3.7mVDC | |||
@1000sccm | 5±0.15VDC | |||
@1000sccm | 5±0.15VDC | |||
@6LPM | ||||
零点漂移,type | ||||
+25 ~ -25℃ | ||||
+25 ~ +85℃ | ±0.2mV | 0.0±1.5mVC | ±0.025mV | ±0.025mV |
输出电压漂移 | ||||
+25～-25℃ | ||||
+25～+85℃ | +2.5%读数 | |||
-2.5%读数 | +2.5%读数 | |||
-2.5%读数 | -5.0%读数 | |||
+6.0%读数 | -6.0%读数 | |||
+6.0%读数 | ||||
重复性&迟滞Max | ±0.35%读数 | ±0.5%读数 | ±0.5%读数 | ±1%读数 |
零点电压（mV） | 0.0±1.0mVDC | 0.0±1.0mVDC | 01.0±0.05mVDC | 5±0.15mVDC |
最小值 | 典型值 | 最大值 | ||
功耗（mW） | --- | 60 | 75 | |
反应时间（ms） | --- | 1 | 3 | |
共模压力(psi) | --- | --- | 150(AWM43600V是25psi) | |
输出负载 | NPN(电流沉):10mA PNP（电流源）：20mA | |||
标定气体 | 氮气（AWM42150VH为氢气） | |||
工作温度 | -25-1285℃ | |||
储存温度 | -40-125℃ | |||
冲击(5drops,6axis | 100g峰值 |