为什么这条MEMS试验线备受关注？中国传感器领域又添国家级创新中心！

近日（5月15日），广州市生态环境局公布了国家纳米智造产业创新中心微纳加工平台建设项目的环评报告，这意味着，又一条MEMS试验线的建设进入推进阶段。

▲来源：广州市生态环境局

据环评报告披露，该项目定位研发平台，研发合作方和研发量需求相对较多，项目实施后将达到年研发MEMS纳米传感器4800片、微纳传感器4742片、压电器件4625片的能力，研发成果全部将供给合作方作为科研用途，不对外销售。

▲来源：环评报告

据知识城ing公众号披露，该项目总投资15652.86万元，工期120天，目前正在环评受理公示中。项目位于广州市黄埔区龙湖街道广州微纳元器件创新中心，占地面积4303.09平方米，建筑面积13021.34平方米。本次洁净工程改造面积7020.0平方米，包括一层千级超净室、二层技术下夹层、三层百级和千级超净室净化装修。

▲来源：环评报告

环评显示，该项目建设主体为广东纳米智造产业创新中心有限公司（下文简称“广纳新”），广纳新是由广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院（下文简称“广纳院”）牵头，联合石药集团恩必普药业有限公 司、穗科战略（广州）股权投资基金合伙企业（有限合伙）、广州南沙置业有限公司、协鑫科技投资有限公司、广州禾信仪器股份有限公司、广州立景创新科 技有限公司、济源纳米产业园有限公司、软通动力创新科技（广州）有限公 司、东华软件股份公司、北京纳通科技集团有限公司、广州家化化学有限公司 等 11 家公司共同组建。

广纳院由广州高新技术产业开发区管理委员会举办、2019年9月注册为省级登记类事业单位，中国科学院院士赵宇亮为首席科学家，定位于国际一流的纳米科技成果产业化基地。

为什么该项目备受关注？

该项目属于国家纳米智造产业创新中心，该中心是中国纳米领域唯一、全国第十家、广东省第二家获批的国家级产业创新中心，主要聚焦纳米材料、纳米电子器件和纳米医药三大领域，目前已在量子点、MEMS元器件、纳米医药等方向展开工作，建设微纳传感器功能材料创新平台等重大平台，开展纳米技术攻关，推动纳米材料、电子器件、医药等智造产业发展，支撑行业共性技术研发和初创企业孵化。

2023年6月，国家发改委批复同意依托广纳院建设纳米产业领域唯一的国家级创新平台——国家纳米智造产业创新中心，并落户广州。

显然，国家纳米智造产业创新中心的成立，是我国MEMS微纳传感器产业又一个重磅国家级创新基地。

中国传感器领域两大国家级创新中心，分别落户珠三角、长三角！

国家产业创新中心是国家重要的三大创新平台(产业、技术、制造业)之一，也是整合行业内创新资源、构建高效协作创新体系的重要载体。主要面向集成电路、生物育种等战略性新兴产业布局建设，旨在强化技术系统集成、中试验证和推广应用能力，服务和支撑关健核心技术攻关。

国家纳米智造产业创新中心是中国MEMS传感器产业国家级创新中心，除该中心外，目前中国传感器领域还有另外一个国家级创新中心——国家智能传感器创新中心。

国家智能传感器创新中心属于国家三大创新平台（产业、技术、制造业）中的制造业平台。据介绍，国家制造业创新中心，面向制造业转型升级和培育发展新动能的重大需求，通过聚焦产业薄弱环节，整合各类创新资源，开展关键共性技术攻关，打通技术开发、转移扩散到商业化应用的创新链条，以此来全面提升制造业竞争力。

国家智能传感器创新中心于2018年6月成立，落户上海嘉定，依托上海芯物科技有限公司，采用“平台+联盟”的方式，通过构建产业生态圈，面向智能传感器设计、材料、制造、设备、封装、测试等产业链上的大中小型企业提供关键共性技术支撑平台。

国家智能传感器创新中心建成国内首条12英寸先进传感器中试线，于2021年6月通线。该中试线以国产设备为主，具备晶圆键合、晶圆减薄、干湿法刻蚀、物理和化学气相沉积、原子层沉积、化学机械研磨、湿法清洗、自动化量测等先进传感器和晶圆级3D集成技术的核心工艺能力，同时为国产装备提供验证平台，加速先进传感器产业链国产化，实现自主可控。

▲来源：网络

国家纳米智造产业创新中心和国家智能传感器创新中心是目前中国MEMS智能传感器领域的两大国家级创新平台，其中，国家纳米智造产业创新中心属产业平台，国家智能传感器创新中心属制造业平台，分别落户珠三角地区和长三角地区，体现我国对智能传感器产业的重视。

围绕上下游产业，大湾区打造中国MEMS智能传感器产业高地！

长久以来，长三角地区是中国智能传感器产业高地，据赛迪顾问发布的《2022年智能传感器十大园区报告》显示，以长三角地区为代表的华东地区是中国智能传感器市场份额最高的地方，占比达46.3%，几乎占据一半份额。

报告中公布的十大园区名单，依次为苏州工业园区、上海嘉定区、无锡高新区、郑州高新区、常州高新区、重庆北碚区、东湖高新区、绍兴滨海新区、北京怀柔区、广州开发区，其中长三角地区占据5席，而且排名前三的产业园区均来自长三角。

因此，国家智能传感器创新中心落户长三角，期望能以长三角雄厚的智能传感器制造业实力，引领中国智能传感器产业发展。

▲来源：赛迪顾问

近年来，随着我国对智能传感器产业的重视，各地区纷纷出台地方政策，支持本地传感器产业发展，而这里面，珠三角粤港澳大湾区一马当先，以广州、深圳两大一线城市为核心，发展智能传感器产业。

2022年4月，广东省工信厅印发《2022年广东省数字经济工作要点》，要全面实施“广东强芯”工程，加快湾区半导体、广大融智、智能传感器三大产业集团建设。

一、成立广东省半导体及集成电路产业投资基金（总规模500亿，首期200亿）：设立子基金、生态子基金和风险子基金；二、粤芯CanSemi12英寸模拟特色工艺线三期四期投资400亿元；三、粤港澳大湾区科技创新产业投资基金，总规模1000亿，首期200亿元；四、湾区半导体产业集团，首期160亿元，目标300亿元；五、广大融智产业集团，一期100亿元；六、智能传感器产业集团，100亿。

同年，深圳出台《关于发展壮大战略性新兴产业集群和培育发展未来产业的意见》，培育发展壮大“20+8”产业集群，即发展以先进制造业为主体的20个战略性新兴产业集群，前瞻布局8大未来产业。包括智能传感器、智能传感器、精密仪器、新能源、高端医疗器械等产业集群。

为壮大相关产业，深圳以“一个产业集群至少有一只基金配套支持”的理念，成立相关基金，基金群总规模达千亿级。

其中，智能传感器、合成生物、新能源汽车、生物医药产业共四个重点方向为首批先行产业，基金已在2022年12月落地，规模达165亿元，而智能传感器产业基金为50亿。

2022年3月，深圳市工业和信息化局发布关于公开征求《深圳市关于推动智能传感器产业加快发展的若干措施》（征求意见稿）意见的通告，相关政策于同年12月出台。

深圳将从健全产业公共服务能力、构建核心技术竞争力和强化市场牵引发展能力三方面，加快发展智能传感器产业集群，促进产业迈向全球价值链高端。政策显示，对企业能够解决智能传感器产业“卡脖子”问题的，资金资助最高达到了1亿元！

深圳对智能传感器产业空间布局，重点提及了南山、龙华和光明这三区。具体来看，深圳对于南山区的定位重点放在了“产学研”；龙华的定位是“3C应用示范”；而光明任务最重，肩负MEMS中试线，该中试线建成后将面向市内外有关企业提供研发中试和批量代工服务。

2022年12月，广州增芯项目一期第一阶段项目动工建设，批复投资70亿元人民币，将建设月加工2万片12英寸的晶圆制造量产线。项目于2022年12月开工，计划2024上半年通线，2025年年底满产。

此前，据《广州市2022年重点建设项目计划》显示，广州增芯项目总投资将达到370亿元！打造集研发、量产制造、封测与应用为一体的MEMS制造平台。一期第一阶段达产后产能2万片/月；一期第二阶段达产后产能扩至6万片/月。

据广州增芯科技有限公司官方平台介绍，其致力于建设国内第一家专业定制化 12英寸智能传感器芯片制造企业，产品主要以力学、声学、微流控、生物等传感器件及配套 ASIC 芯片为主，着力面向粤港澳大湾区这一全球传感器最大的应用市场，快速构建传感器产业生态圈，助力大湾区成为全球传感器产业中心的核心支撑和引领平台。

▲来源：《广州市2022年重点建设项目计划》

2023年1月，深圳市光明区智能传感与精密仪器先进制造业园区开工建设，项目位于光明区西南直角产业带，综合开发范围1.95平方公里，规划容积382.51万平方米，分四期开发，项目总投资达81.9亿元。

这是继粤港澳大湾区智能传感器产业园后，广东省第二个成规模的传感器产业园区，也使光明区成为深圳市的智能传感器产业高地。

粤港澳大湾区智能传感器下游应用市场规模全国最大，聚集了华为、比亚迪、美的、大疆……等等众多制造业巨头，天然对智能传感器产品存在海量的需求，因此，国家纳米智造产业创新中心落户珠三角地区，希望以粤港澳大湾区庞大的产业优势，引领中国智能传感器产业发展。

结语

国家纳米智造产业创新中心微纳加工平台建设项目进入环评，我国又一条MEMS试验线建设进入推进阶段，这也意味着我国MEMS智能传感器领域的又一国家级中心的全面落地。

以国家智能传感器创新中心为主导的传感器制造业中心落户珠三角，以国家纳米智造产业创新中心为主导的传感器产业中心落户珠三角，通过中国科技、经济实力最强盛的两大地区引领中国智能传感器产业的发展，体现了国家对智能传感器产业的高度重视。

中国传感器的春天，正在当下！