真空传感器用于测量低于大气压，控制真空度，检测真空室泄漏或分析真空系统中气体成分的仪器，传感器和测试设备。
真空传感器用于测量真空或低于大气压的压力。在低真空范围内工作的传感器会使用某种物理位移或材料特性变化来进行测量，中高真空传感器则使用环境的特性（例如热导率和电离）进行测量会更为准确。 性能参数有真空范围和工作温度。
检漏仪用于测量密封部件或系统中液体，真空或气体的逸出。输出选项包括模拟电压，模拟电流，频率或调制频率以及开关或警报信号。检漏仪的测试方法有很多，包括方法包括气泡测试，比色显影，电子气体检测，质量流量，质谱，氢泄漏检测，压差（衰减）和超声泄漏检测等。
残留气体分析仪（RGA）是用于识别真空环境中存在的气体的光谱仪。残留气体分析仪通过产生气体样品的电离分子，根据离子的质荷比分离所得的离子混合物，提供输出信号（用于测量存在的相对种类）并计算速率来执行此功能。
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