检测原理:非分光红外检测技术(NDIR) |
测试气体:六氟化硫(SF6) |
仪表类型
:探测器 |
测量类型:泄漏 |
监测气体数:多种气体 |
检测原理 :NDIR |
检测气体 :SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2 |
量程 :1~264ppm(0~200mTorr) |
重复性 :±0.5% |
检测原理 :NDIR |
检测气体 :SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2 |
量程 :1~264ppm(0~200mTorr) |
重复性 :±0.5% |
重复性:±0.5% |
报警误差:SF6:±5%(显示值)O2:±0.5%vol |
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