产品介绍
红外气体传感器是由四方光电自主研发的高性能气体传感器，产品基于非分光红外技术(NDIR),能够精确测量半导体等应用中产生的SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等气体,兼容机台内常见预留尺寸、法兰和通讯协议，可用于半导体沉积和清洗工艺的端点检测、腔室清理终端检测,能够减少清洁时间,节约成本,提高产量。
产品特征
使用NDIR技术，多气体监测支持(SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等气体)响应时间快，高灵敏度无耗材模拟/数字通信模块化设计，便于集成
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 重复性 | ±0.5% |
| 量程 | 1~264ppm(0~200mTorr) |
| 检测原理 | NDIR |
| 检测气体 | SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2 |
| 检测限 | 1ppm |
| 线性 | ±1%F.S. |
SiF4/WF6/CF4/SF6/NF3/CO2 气体仪器技术参数
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| 重复性 | ±0.5% |
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