Brooks Instrument 布鲁克斯 GF125 & GF125HA & GF126 流量控制器

超快速响应时间和最高纯度– GF125系列是第二代多变量、压力瞬变不敏感（PTI）、金属密封质量流量控制器和仪表。首次将PTI质量流量控制技术引入市场，GF125将因压力和温度波动而产生的工艺气体流量变化降至最低。标准MultiFlo™技术使一台MFC能够支持数千种气体类型和量程组合，而不必将其从输气管道中移除或影响精度。，结果：通过消除对使用点压力调节器、压力传感器和相关硬件的需要，结合业界’年最佳的PTI性能，最大限度地提高产量和生产率。，功能，优点，关键应用

特性

• Long-term zero stability of <±0.5% full scale per year
• 超快沉降时间：300 ms-<700 ms
• 全尺寸流速可达300 slpm
• Ultra-high purity flow path - 4µ inch Ra surface finish
• 半f20兼容润湿材料
• Corrosion-resistant Hastelloy® T-Rise sensor with high speed ARM processor
• 快速作用，无隔膜阀总成不受压差的影响，测试超过700万个周期，没有任何故障
• MultiFloTM technology offers unparalleled flexibility—one device can be programmed for thousands of different gas and flow range configurations without removing the MFC from the gas line or compromising accuracy
• 本地显示显示流量、温度、压力和网络地址，便于煤气供应和隔离阀故障排除
• 可选高精度配置
• devicenettm、rs-485 l协议和模拟接口
• 通过结合布鲁克斯的专利流量传感器技术和快速作用无隔膜阀总成，gf125系列的响应和稳定时间比其他质量流量控制器快3倍
• 优化的湿润流动路径，改善干井
• 使用multiflotm, mfc全尺度流量范围通常可以缩小3:1的倍数，而不影响精度、调节或泄漏，实现最佳工艺和库存灵活性
• 完整的气体数据库提供最广泛的工艺气体覆盖范围
• 压力瞬变不敏感（pti）能力克服了传统MFC对小进口压力波动反应强烈的局限性。其结果是稳定的性能和可预测的精度。
• GF125高精度（HA）具有卓越的低设定点精度，可将两个（一个高流量和低流量）质量流量控制器替换为一个，从而在节省燃气管线的同时节省更多燃气面板的灵活性。
• 方便的用户显示和独立的诊断/服务端口辅助设备的安装、监控和故障排除
• 半导体
• 金属
• 要求高纯度全金属流道的气体流量控制应用
• 满标度流速高达300 slpm
• F20半湿润材料
• 就地显示显示流量、温度、压力和网络地址，以便对供气和隔离阀问题进行故障排除
• devicenettm, rs-485 l协议和模拟接口
• 通过结合brooks的专利流量传感器技术和快速作用的无隔膜阀总成，gf125系列的响应速度和稳定时间比其他质量流量控制器快3倍
• 改善干燥的优化湿流路径
• 一个完整的气体数据库提供最广泛的过程气体覆盖
• 方便的用户显示和独立的诊断/维修端口有助于设备的安装、监控和故障排除