PI (Physik Instrumente) L.P. D-015 & D-050 & D-100 电容式线性位置传感器

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特性

  • 适用于要求最高精度的应用场合
  • 测量范围为1000µm
  • 分辨率为0.01纳米
  • 数字控制器的线性度误差为0.01%
  • 带宽到10千赫
  • 伺服控制器e-509.cxa,与e-500压电控制器系统兼容
  • 自定义设计
  • 对于要求最高精度的应用
  • Measurement range to 1000 µm

D-015 & D-050 & D-100 电容式线性位置传感器技术参数

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性 能
测量范围 5.91E-4 to 0.0118 inch (0.0150 to 0.3000 mm)
线性度 0.0100 ±% Full Scale
环 境
工作温度 -4 to 176 F (-20 to 80 C)
物 理
形状 Rectangular
长度 0.5906 to 0.7874 inch (15 to 20 mm)
宽度 0.3150 to 0.7874 inch (8 to 20 mm)
高度 0.1575 to 0.1969 inch (4 to 5 mm)
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产品类别 Capacitive Linear Position Sensors

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