美国 MicroSense, LLC，以前称为 ADE Technologies，由四个主要业务组成——晶圆几何计量系统、精密电容传感器、振动样品磁力计和用于最先进磁测量的磁光克尔效应 (MOKE) 工具。MicroSense 服务于众多行业，包括半导体制造、数据存储、机床、太阳能、汽车和高亮度 LED。MicroSense 凭借丰富的业务经验、财务实力、全球支持和技术领先地位，为客户提供价值和安全性。MicroSense 于2019 年 2 月 22 日被KLA Corporation收购。
电容式传感器开创性的高分辨率测量
我们的电容传感器业务由Robert C. Abbe于 1967 年创立，最初是 ADE Corporation 的一部分。ADE Corporation 以其富有远见的新颖方法为要求苛刻的尺寸测量应用提供高分辨率、非接触式测量而闻名。随着时间的推移，ADE 成长为世界领先的裸半导体晶圆测量工具供应商。用于位置和位移测量的高分辨率 电容传感器（也称为“盖规”）成为“ADE”和我们的商标名称“MicroSense”的代名词。
MicroSense 提供基于专利电容传感技术的电容传感器和 OEM 计量模块，可对太阳能晶片、蓝宝石晶片、硬盘驱动电机、空气轴承主轴、精密 XY 平台、光盘等精密产品进行非常精确的高带宽测量、汽车零部件和机床。我们的电容式位移传感器提供业内最高分辨率、小于 0.05 纳米、出色的稳定性和几乎无限的使用寿命。
屡获殊荣的磁测量工具
MicroSense 磁计量业务在 25 多年前以数字测量系统 (DMS) 的形式开始，自 1997 年以来一直作为 ADE Technologies 的一部分。
凭借我们世界级的磁性测量专家团队，MicroSense 是用于磁性测量的高灵敏度振动样品磁力计的领先供应商。我们的振动样品磁力计有多种型号，具有各种功能、场范围、分辨率和选项。我们的 VSM 系统用于学术和商业领域的全球最负盛名的磁性实验室的基础磁性研究。还提供一系列在线生产磁性计量工具，以满足制造当今快速发展的硬盘存储系统的严格要求。 2012 年，MicroSense 推出了世界上第一个 300-mm 非接触式磁性能测量工具（右图），用于 MRAM 晶圆开发和制造。
晶圆尺寸测量的创新工具
MicroSense 提供高灵敏度晶圆测量工具，用于表征蓝宝石、碳化硅和各种类型的半导体晶圆。MicroSense 于 2012 年 6 月收购了亚利桑那州坦佩市的 SigmaTech, Inc.。 通过此次收购，MicroSense 在其创新计量解决方案组合中增加了领先的晶圆检测工具。SigmaTech 系统集成了多种传感技术，例如光谱法、干涉测量法和 SigmaTech 获得专利的自动定位背压 (APBP) 技术。
