疫情发生以来，作为红外体温计的核心器件，红外温度传感器也面临巨大的缺口。日前，上海微技术工业研究院8寸MEMS研发中试线生产的500多万颗温度传感器芯片顺利下线，第一批9万颗芯片以99.74%的良率提前三天送到客户手中。这些芯片将作为核心部件组装到红外线体温计中，投放到战“疫”最前线，这也意味着温度传感器将得到充分补给，结束自春节以来的供应紧张问题。

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　　据介绍，温度传感器芯片是一个需要38台主力设备和120多个步骤的复杂产品，整个生产过程对设备状态有着极其苛刻的要求，任何一个设备或步骤出问题，都会导致整个制作流程的失败或停滞。

　　同时，温度传感器芯片结构精细、设计严格，一个亚微米大小的颗粒就会毁掉整个芯片；薄膜生长时出现几纳米的厚度偏差，就可能导致几十万颗芯片的报废。

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　　有一次，设备出现故障，无法自动流片，工程师曹兴龙打开设备外壳，在同事的配合下，钻进机器背面狭小的空间里进行手工装卸。维修中稍有失误就会导致碎片产生，甚至损伤设备，操作的紧张和辛苦程度可想而知。然而，凭着沉着冷静的态度和高超的技艺，曹兴龙圆满完成任务。

　　通常，半导体生产厂的设备工程师只需掌握一种设备的操作技能，而8寸线的设备团队有“传帮带”的优良传统，通过互帮互学，线上的每位工程师都能熟练维修、操作多种设备。

　　据媒体报道称，工研院研发部拥有红外温度传感器开发的完整技术能力和丰富经验，在国内最先打破国外垄断，自主研发的热电堆红外温度传感器产品，并实现规模生产，成为替代进口的首选。目前，超过百万颗红外温度传感器芯片已从8寸线上下线，奔赴下游生产商。

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