7 月 1 据台媒《工商时报》报道，台积电将在 2024~2025 年接收超 60 台 EUV 光刻机，现在是明年两年 EUV 光刻机上的投资将超过 4000 亿新台币(目前约 896.61 亿元人民币)。
报道表示，ASML 的 EUV 目前，光刻机供应紧张，从订单到交付的整体周期已经达到 16~20 个月。
台积电今明两年将分别签订合同 30 和 35 台的 EUV 这些订单中的大多数将从光刻机订单开始 2026 年开始交付。
台湾媒体援引供应链的消息指出，ASML 对 2025 年产能规划是 20 台 High-NA EUV 光刻机、90 台 EUV 光刻机和 600 台 DUV 光刻机。
▲ ASML 目前最先进的 0.33NA EUV 光刻机 NXE:3800E
根据台积电的官方路线图，已经规划了最先进的工艺 16A 将于 2026 年量产，仍采用传统 0.33NA EUV 光刻机。换句话说，台积电在量产过程中没有考虑引入 High-NA。
虽然 ASML 已确认将在这方面 2024 年内交付台积电 High-NA EUV 光刻机，但这台机器只用于工艺开发。
台湾媒体还表示，台积电暂时不存在 2025~2026 年引入量产用 High-NA EUV 规划光刻机。
