光刻机进场 打开“核心”动力

帮助广东打造集成电路产业“第三极” 广州增芯项目进入调试投产准备阶段

3月11日10时40分左右，在广州增信科技有限公司一期工厂的洁净室，在光刻区独特的浅黄色灯光下，穿防尘服的工作人员正忙着定位新搬进来的光刻机。

同日，12英寸先进智能传感器和特色工艺晶圆生产线项目（以下简称“增芯项目”）光刻机移动活动在项目现场举行，标志着增芯项目建设的关键节点，进入调试生产准备阶段。

正式通线量产指日可待

项目布局：近年来，增城加快了以“核心显示车”为主导的现代产业体系建设。在培育和发展集成电路产业方面，布局了一批规模大、能源水平高、驱动力强的骨干项目，涵盖了集成电路“四梁八柱”制造、密封试验、设备、材料、平台等关键环节。

增芯项目是广东省和广州市的重点项目，是中国第一个12英寸智能传感器（MEMS）特色工艺生产线对增城、广州、广东集成电路产业的发展具有重要意义。

当天上午，记者在核心增强项目现场看到，在全体嘉宾的见证下，携带光刻机的车辆慢慢启动，将设备运入厂房，完成了核心增强项目的重要历史时刻，伴随着屏幕上光刻机从线下制造到运输和交付的纪录片。

光刻机进入工厂，进入调试生产准备阶段

增芯科技有限公司总经理张亮在现场采访中表示：“可以说，光刻机一进场，离正式通线量产指日可待。”，光刻机作为整个集成制造中最关键的核心设备，资金投入占工厂建设的25%。

据张亮介绍，光刻机的搬迁意味着核心增强项目已经迎来了建设的关键节点，并成功进入了调试和生产准备阶段。“我们计划在今年6月完成第一批设备的安装，并在今年12月底完成产品的离线，以满足产量。目前，这两个节点正在顺利进行。”

自2022年底启动增芯工程以来，仅9个月零6天就完成了从桩基到主厂房的封顶施工，实现了“启动一年安装”。封顶仅5个多月就迎来了生产线的核心设备——光刻机，进入了设备安装调试阶段，充分展示了“增城速度”和“增芯速度”

“2021年，我也站在这里，用手机拍了几张照片，当时还是杂草齐腰，牛羊吃草的田园景象。“广州智能传感器产业集团董事长、上海兴橙投资董事长、广州增信科技有限公司董事长陈晓飞回忆起三年前项目的情景。“现在，经过9个月的土木工程封顶和12个月的第一套设备搬迁，我们今天迎来了工厂核心设备-光刻机的搬迁。我们一步一步地充满信心和希望。”

“近年来，我们抓住了集成电路产业新生产力快速发展的时间窗口，全面规划和发展增城国家开发区半导体第三极，为高水平技术的自力更生和自我完善注入了新的力量。”陈晓飞表示，作为一家私营企业，他决心与工业上下游建设大湾区的“硅谷”，建设中国集成电路的另一个生态系统。

做好全链元素保障工作

目前，增城正在加快高端电子信息新材料产业园建设，加快智能传感器产业园建设，努力促进整个产业链的完整集聚，建设广港澳大湾区半导体产业集聚区和产业高地，帮助广州建设国家集成电路产业集聚区，帮助广东建设国家集成电路产业发展“第三极”。

广州和增城区作为广州半导体和集成电路“核两极多点”产业模式的重要两极之一，将优化商业环境，继续提供最优质、最方便、最高效的“全生命周期服务”，大力支持核心项目建设，做好全链要素保证，确保顺利生产。