3月6日上午，光明区工信局、深圳市智能传感产业协会联合组织的MEMS中试线企业需求研讨会在光明公共服务平台举行。速腾聚创、汉威科技、美思先锋、海谱纳米、南科大、格子感知、国微感知、戴维莱、比特原子、天陆海、智芯微纳、万感科技等10多家MEMS相关企事业单位负责人参加了会议。

MEMS（微机电系统）是一种集微电子技术和机械工程于一体的工业技术。通过半导体制造等微纳加工手段，形成具有微纳米量级特征尺度的机械结构系统装置。

MEMS工艺与传统IC工艺有许多相似之处。MEMS借鉴了光刻、薄膜沉积、掺杂、蚀刻、化学机械抛光等IC工艺。传统的IC工艺无法实现毫米甚至纳米的加工工艺，必须依靠微加工和精细加工，才能达到预期的结构和功能。

与一般集成电路芯片相比，（IC），MEMS制造工艺不追求先进的工艺，而是更注重功能特性，即利用微纳结构或/和敏感材料实现各种传感和执行功能。工艺节点通常从500nm到110nm不限于硅，还包括玻璃、聚合物、金属等。

会上，与会代表听取了光明区智能传感器产业的发展情况，探讨了如何通过MEMS生产线建设促进智能传感器产业的发展。企业表示，由于MEMS传感器具有产品和加工工艺的特点，对运营团队的专业性、设备工艺的兼容性、服务的及时性和合作性、如何满足更多种类的工艺特点、知识产权的保护等也有不同的需求。

企业表示，部分工艺可以通过6英寸线或实验线完成，然后进入8英寸线，从而提高产量和开发进度的效率，节省部分成本。在模式方面，你也可以考虑让一些有能力的企业参与运营，或者适当地打开一些空间，为企业放置自己的设备来完成前一个过程。

目前，由于建设投资大、专业性高，MEMS传感器研发中试平台已成为共同需求，企业自身的技术储备和专业能力也有所不同。与会企业表示希望做一些定期的培训，共同做标准设备、标准流程等标准，将自己的know-how放入PDK，不断填充PDK，共同开发会提高效率。