思微科技 SRPS-QBA/BBA系列高精度硅谐振压力传感器 压力传感器

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SRPS-QBA/BBA系列高精度硅谐振压力传感器,是西安思微传感科技有限公司自主开发的—款高精度MEMS(MicroElectro Mechanical Systems)压力传感器。硅谐振压力传感器是目前测量精度最高的压力传感器,因其具有精度高、稳定性好、准数字输出等优点,被广泛应用在航空大气数据测噩系统、地面压力控制器和气象测噩设备中。

传感器表芯中谐振结构采用音叉梁设计,其工作方式为面内振动,通过静电激励、电容检测的方式捕捉谐振频率,再结合闭环控制电路转化为频率信号输出。

SRPS-QBA/BBA系列高精度硅谐振压力传感器采用简洁的压力接口和电气接口,在保证性能的情况下,将传感器的尺寸压缩到最 小,方便产品的拆卸与安装。



特点


SRPS-QBA/BBA系列高精度硅谐振压力传感器采用简洁的压力接口和电气接口,在保证性能的情况下,将传感器的尺寸压缩到最 小,方便产品的拆卸与安装。


传感器表芯中谐振结构采用音叉梁设计,其工作方式为面内振动,通过静电激励、电容检测的方式捕捉谐振频率,再结合闭环控制电路转化为频率信号输出。


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