真空度压力传感器是一种基于硅压阻效应， 采用 CMOS 技术与 MEMS 混合技术实现的表压传感器。待测压力从芯片背面加载在硅膜片上，从而使得传感器可在恶劣环境中使用。压力传感器输出与压力成线性比例的电压信号，且提供精确稳定的信号输出和温度补偿。

产品性能参数

 压力范围： 0-(-100)KPa

 输出范围： 0.5-4.5V

 供电电压： 5.0±0.25V

 工作温度： -40℃-130℃

 精确度 ： 1.5%Vcc@25℃

外形结构

电气连接