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立仪光谱共焦位移传感器非接触式测量

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使用多个棱镜色散部件,较其它色散原理光能利用率高2倍以上。线性度高2倍以上

减震设计,机台运输时减少传感器震动损坏或失准,电磁屏蔽性能好,散热好

模块化的LED光源。具有多通道版本节约控制器减少成本,通道之间的同步时间误差小于1ns

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