FMA5400\/5500系列电子气体质量流量控制器用于控制从0-10 SCCM到100 SLM的各种气体的流量。FMA5400\/5500利用通过加热管的热传递来测量分子气体流量，提供直接气体质量流量的测量，无需补偿气体温度或压力的变化（在规定范围内）。对于典型的气流，它们有经济的铝/黄铜结构，对于需要更高耐腐蚀性的应用，它们有316不锈钢结构。不带集成显示器的FMA5400系列配有模拟0-5 Vdc和4-20 mA输出，用于远程监控；FMA5500系列具有集成3 1/2数字显示和模拟输出。显示屏可倾斜90度以上，便于查看。显示器是校准标准，可直接在SCCM或SLM中读取氮气（其他气体校准可根据特殊订单提供）。FMA5400\/5500质量流量控制器具有一个内置的常闭电磁阀，用于保持恒定的流量，而不受入口或出口压力变化的影响。设定值可通过一个可在外壳中通过访问窗口访问的电位计进行本地控制，或通过模拟0-5伏直流电或4-20毫安信号（可现场选择）进行远程控制。FMA5400\/5500系列要求在800毫安时提供+12-15伏直流电，可由FMA545PW壁挂式插座电源供电（可选择650毫安时的24伏直流电源输入）。电子设备具有反极性保护，并具有可复位保险丝。型号FMA545C（单独提供）提供一个配套的15针D连接器，带有8英尺的屏蔽电缆，用于访问模拟输出信号和电源输入连接。