产品介绍
离子注入是半导体制造的关键一步。高能注入会导致晶片受热，导致产率下降。小直径、快速响应、弹簧负载热电偶(如上图所示)是监测离子注入工具温度的一种经济可靠的方法。
Ion Implant Thermocouple for Axcelis Implanter 热电偶温度探头技术参数
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| 规格项 | 参数值 | 勾选搜索替代 |
| 特 性 | ||
| 特征 | Available as an Assembly | |
| 连 接 & 显 示 | ||
| 传感器终端 | Plug or Quick Connect | |
| 物 理 | ||
| 探头配置 | Straight Probe | |
| 更多规格 | ||
| 产品类别 | Thermocouple Temperature Probes |
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