SMC PFM711S-C6-B-MN-ZS 气体流量计

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SMC的PFM系列是双流量开关,设计用于检测芯片组件在真空中的吸附、过滤器和喷嘴的堵塞。结构紧凑,重量轻,适合与二氧化碳、空气、氮气或氩气一起使用。流速范围:10、25、50100升/分钟。最小单位设置:0.01升/分钟。重复性:u00b11%F.S.或更低。无油脂。流量调节阀是集成的-减少管道和节省空间。响应时间可设置为监控的介质=空气,气体设备类型=流量开关最小流量=2 L\/min最大流量=100(Ar)L\/min,100(干空气)L\/min,100(N2)L\/min,50(CO2)L\/min供电电压=24 V dc连接类型=6 mm一键式接头最大压力=1兆帕材料=PBT最小介质温度=0°C最大介质温度=50°C

PFM711S-C6-B-MN-ZS 气体流量计技术参数

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特 性
工作压力 145 psi (102 m H2O)
气体体积流量 0.0706 to 3.53 SCFM (0.1200 to 6 m³/hr)
介质温度 32 to 122 F (0 to 50 C)
测量介质 Gas
电 气
电气输出 Switch
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产品型号 PFM711S-C6-B-MN-ZS
制造商 SMC Corporation of America
产品类别 Gas Flow Meters

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