KEYENCE 基恩士 SI-F80R 光学三角测量位置传感器

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SI-F Series Spectral Interference Displacement MeterThe SI-F Series Spectral Interference Displacement Meter specializes in super-high accuracy displacement measurement for thickness or position measurement or surface mapping. With resolution down to 1nm, the SI Series is able to see even the smallest defects or changes in position. The fiber type sensor heads are as small as 2mm in diameter and generate no heat and are not influenced by electromagnetic noise for maximum flexibility. Common Applications:• Wafer Thickness• Glass Thickness• Surface Mapping• Stage Positioning• Precision Roller Runout• Warpage\/Flatness

SI-F80R 光学三角测量位置传感器技术参数

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性 能
测量范围 3.15 to 3.19 inch (80.01 to 81.03 mm)
特 性
光源 LED
接收器 Other Receiver
采样频率 5 kHz
扫描区域 Point or 1-Dimentional
输出 Voltage; Current; Switched / Alarm
连 接 & 显 示
接口 Serial; Parallel
环 境
工作温度 32 to 122 F (0.0 to 50 C)
更多技术信息
激光安全 Class 1/1M
更多规格
产品类别 Optical Triangulation Position Sensors

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