产品介绍
真空度压力传感器是一种基于硅压阻效应, 采用 CMOS 技术与 MEMS 混合技术实现的表压传感器。待测压力从芯片背面加载在硅膜片上,从而使得传感器可在恶劣环境中使用。压力传感器输出与压力成线性比例的电压信号,且提供精确稳定的信号输出和温度补偿。
产品性能参数
压力范围: 0-(-100)KPa
输出范围: 0.5-4.5V
供电电压: 5.0±0.25V
工作温度: -40℃-130℃
精确度 : 1.5%Vcc@25℃
外形结构
电气连接
产品替代
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