Setra西特 227表压复合压绝压超高纯压力传感器 压力变送器

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Setra西特227表压复合压绝压超高纯压力传感器

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品牌

setra西特

型号

227G025PAE51106J

型号

227G050PAE51106J

型号

227G100PAE51106J

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型号

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型号

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型号

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型号

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型号

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型号

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型号

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型号

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型号

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型号

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型号

227G050PAE51106F

型号

227G100PAE51106F

型号

227G150PAE51106F

输出信号

模拟型

材料物理性质

半导体

外形尺寸

111mm

加工定制

误差范围

1

精确度

0.25% 1%

工作温度

-40-80℃

绝缘电阻

负载阻抗

允许过载

1%FS

电气连接

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压力连接

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数量

10000

封装

盒装

批号

18954071837

QQ

1208100120

厂家

setra



详细说明

  6F,227G20CTAE51106F

  Setra 227 型压力变送器专为高密度的模块式 “Block” 气体棒和面板设计,能够满足如今 300 mm 工具的要求。该型号占用空间仅 11/8″,能节省宝贵的空间 ;结构坚固,是

  要求长期稳定性、高精度和适合在恶劣环境使用的压力测量应用于·高纯度气体输送系统半导体过程工具的理想选择。

  与其他采用大体积封头腔室的产品不同, Setra 227 型压力变送器采用了易于吹扫的小型传感器腔室设计。所有接液部件均采用 VIM/VAR 316L 不锈钢制造,且表面钝化抛

  光至 5 Ra(大 7 Ra),确保表面平整且耐化学腐蚀,实现无污染气体输送。227 型压力变送器可选 5 VDC、 10 VDC 或 4-20mA 三种输出类型,精度达 ±0.25% FS 或 1.0% 读数。该型号可选符合工业标准的 11/8″带 C 型或 W 型密封的朝下安装的压力接口,另外还可使用多芯电缆、 4 针卡口接头和 9 针或 15 针

  D-sub 接头进行电气连接。与 328 型 11/8″旋转显示屏配合使用时, 227 型可实现理想的压力测量和显示。零点和量程调整装置位于旋转保护罩下方的侧面。用户还

  可选择绝压、表压或复合压测量范围。

  高性价比227 型压力变送器采用 Setra 砖利的可变电容技术,配有316L 不锈钢隔膜和绝缘电极板。绝缘电极板与传感器本地构成可变电容。当气体压力提升时,隔膜会变得略圆,使电容减小。传感器将检测到电容变化,并基于砖利的电荷平衡原理,通过 Setra **的定制集成电路将其转换为高精度的线性直流电信号。Setra 所有的超高纯系列产品都基于 Setra 成熟的电容传感技术制造,能提供几乎不受 EMI/RFI 干扰的高精度、稳定的电压或电流输出信号。

  表压、复合压、绝压可选PSI或BAR量程可选

  Setra 的227型传感器专用于当今的300mm工具所要求的高密度、模块式block气体棒和面板。227型1-1/8"的占地面积优化了有价值的空间,其坚固的设计使其非常适合那些要求长期稳定性、高精度和对恶劣环境格外不敏感的压力测量应用。

  与其它具有较大死端空泡体积的设计不同,227型具有一个方便洗涤的小排量传感器舱。所有湿润部件均为**VAR316LSS材料,电解抛光至5Ra(10

  max.)的终饰。每一个传感器都经质谱仪进行过高达的氦渗漏试验。可选择5VDC、10VDC或4-20mA输出,227型可提供±0.25%全量程或±1.0%的读数精度。227型配备了一个节省空间的11/8"C型密封件下安装接口底座,并可选择多芯电缆、4针bayonet连接器和一个9针或15针D型连接器用于电气终端。加上327型的1-1/8"可旋转显示器,该产品包达到了压力测量及显示的Ji致。该**设计包括在旋转保护盖下面的侧接近至零点及范围调节,可选择绝队压、表压或复合压。

  Setra 获専利的可变电容传感器的特点在于一个316L不锈钢膜片和一个绝缘电Ji板。在传感器主体和电Ji板之间形成一个可变电容器。压力的增加致使膜片略微变圆,从而增加了电容。通过Setra **的定制集成电路检测电容值的变化,并利用获専利的电荷平衡原理将其转换成高度**的线性DC电信号。

  etra 的整个超高纯系列均基于Setra 的被广泛认可的电容传感技术,高度**和

  稳定的电压或电流输出信号基本上可抑制电磁干扰/射频干扰(EMI/RFI)。


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