MEMSieway 明石微纳 MSFM4000 气体流量传感器

一、产品介绍

        MSFM4000系列是采用微机电系统(MEMS)流量传感芯片制作，适用于各种用途的清洁、相对干燥性气体的测量，实现设备的 数字化、智能化和提升高安全性，具有对传统行业革新的作用和提升；宽范围的流量量程满足行业不同设备的流量测量需求，高 灵敏度，高可靠性，高稳定性和低成本的性能特点能够促使行业向节能化和智能化斱向収展。 MSFM4000系列产品是基于MEMS流量传感单元、高精度数字处理和标定电路（MCU）组成，集成的高分辨率Δ-ΣA/D转换器 和具有内部校准功能的逡辑电路及MCU处理器共同保证了传感信号实时有效采集，获得精确的流量信号，并在内部进行相应的 补偿算法处理，因此无需再做任何外部校准补偿，就能确保高精度的流量输出；友好的数字化输出通讯方式，用户可以很方便的 得到相应数据信息；产品应用范围十分广阔。

二、产品应用

呼吸机、 麻醉分娩、制氧机、检漏、防毒面罩和呼吸器、光谱仪、质量流量控制器、环境气候控制、燃料电池控制、喷雾器、持续气道正压通气（CPAP）设备等

三、产品特点

流量范围宽0-500SLPM

线性输出和温度补偿

固态传感核心（无表面空洞戒易碎膜），抗堵塞和压力冲击

快速响应时间（9ms/20ms/60ms响应时间） 

精度高（1.5％F.S精度）

以最小的零漂保持长期稳定性 

模拟输出（1至5V）（也可提供I2C输出）

四、最大额定值

工作温度：-25°C至85°C

储存温度：-40°C至90°C

湿度：0〜100％RH*

抗冲击100 g

*传感器可耐况凝水

五、电气特性

测试条件：VIN=12±0.01VDC，Ta=25°C。相对湿度：40％<相对湿度<60％ 最大工作温度范围-25°C至+85°C

流量范围（1）		单位（2）	最大流速
MSFM4003V	0-12	SLM	0.525
MSFM4004V	0-20	SLM	0.872
MSFM4005V	0-35	SLM	1.51
MSFM4100V	0-50	SLM	2.18
MSFM4101V	0-100	SLM	4.37
MSFM4102V	0-150	SLM	6.56
MSFM4103V	0-200	SLM	8.76
MSFM4104V	0-300	SLM	13.14
MSFM4105V	0-500	SLM	35.3

规格	最小	默认	最大	单位
模拟电压输出（3）	1	--	5	VDC
零点电压	0.95	1	1.05	VDC
零点漂移	--	--	0.2	%F.S
分辨率（4）	--	0.1	--	%F.S
负载	--	100	--	KΩ
精确度	--	1.5	2	%F.S
响应时间	--	20	30	mSec
供电电压（5）	8	12	24	VDC
供电电流	20	--	30	mA
整体材质	碳化硅，环氧树脂，聚苯硫醚，FR4，硅作为密封

1. 10SLM和500SLM之间可定制范围；

2. SLM：每分钟标准升。标准条件：0°C和1个大气压；

3. 另外可以增加双向气流测试定制，模拟输出做相应的对应更改，F(min)—F(max)对应1-5V输出，0流量对应3V；

4. 包括温度漂移和线性误差；

5. 5V电源电压可选择采用。