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MEMS音叉陀螺仪采用HMT镂空覆铜承载板克服石英音叉使用温度变化零偏缺陷

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MEMS音叉陀螺仪采用HMT镂空覆铜承载板克服石英音叉使用温度变化零偏缺陷


苏州恒迈瑞作为石英音叉式陀螺仪金金键合所用覆铜支撑承载基板的专业生产厂家,量产石英音叉陀螺用覆铜镂空支撑承载基板-金金绑定工艺与石英陀螺音叉键合.采用TAB制程工艺封装的镂空覆铜支撑承载基板有效解决了现有石英陀螺在应用中将石英音叉粘接在支撑结构承载板上,而石英音叉在正常使用过程中会因为环境温度变化产生一定的零偏的缺陷,实现减小石英音叉的热应力,进而解决了石英陀螺音叉的零偏问题。


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