产品介绍
IMS5600-DS 干涉仪技术参数
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| 光色/光源类型 | 白光 | |
| 准许证/证书/检验标志 | CE, UKCA | |
| 分辨率 | 0.03 nm | |
| 工作温度范围 | 5 到 70 °C | |
| 接口 | 模拟控制、数字接口、计算机接口 | |
| 测量方法 | 位移/位置 距离 |
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