Kionix / ROHM Semiconductor KXPS5-2050 地震仪器

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这些高性能硅微机械线性加速度计和倾角计由传感器元件和封装在A3xxx0.9mm陆地网格阵列(LGA)中的ASIC组成。传感器元件由单晶硅制成,采用专有的深反应离子刻蚀(DRIE)工艺,通过晶圆级的热密封硅盖保护元件不受环境影响。\tKXPS5系列设计用于提供高信噪比和优异的超温性能。这些传感器可以接受1.8V到5.25V之间的电源电压。灵敏度是工厂可编程的,允许定制需要从±1.5g到±6.0格兰仕的应用。传感器带宽可由用户定义。对于高于阈值的任何轴上的加速度(运动中断)或低于阈值的所有三个轴上的加速度(自由下落中断),都可以产生中断。\t传感器元件根据差动电容的原理工作。加速度引起硅结构的位移,导致改变失效。ASIC使用标准CMOS制造工艺,检测电容的变化并将其转换为与加速度成比例的模拟输出电压。该电压由板载A/D转换器数字化,并通过内部集成电路(I2C)总线或串行外围接口(SPI)进行访问。

KXPS5-2050 地震仪器技术参数

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特 性
测量轴数 Single; Biaxial; Triaxial
频率范围 1000 Hz
加速度范围 2 g
环 境
工作温度 -40 to 185 F (-40 to 85 C)
最大冲击 5000 g
更多技术信息
产品形式 Linear Accelerometer; Sensor / Transducer
更多规格
特征 Environmentally / Hermetically Sealed; Self Test / Self Calibrating
产品类别 Seismic Instruments

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