Magnescale BH25 磁致伸缩位置传感器

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信号波长为250nm的高精度反射激光标度,非常适用于低轮廓级、半导体后端加工设备和精密显微镜。

特性

  • 信号波长:250nm
  • High accuracy : ±1μm/420nm
  • 高响应速度:700mm/s
  • 最大分辨率:0.03125nm
  • 可用:有/没有参考点
  • 理论上完全消除了非接触设计返回误差。
  • 规格:蓝板玻璃/低膨胀玻璃
  • 厚度12mm的薄封头
  • 支持各种分辨率和输出模式(取决于所连接的插值器。)
  • 提供特殊的非磁性和真空兼容型号

BH25 磁致伸缩位置传感器技术参数

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性 能
测量范围 1.18 to 16.54 inch (30 to 420 mm)
特 性
线性编码器速度 700 mm/sec (1654 in/min)
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产品类别 Magnetostrictive Position Sensors

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