Brooks Instrument 布鲁克斯 PC115 & PC125 压力控制器

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特性

  • 整体式压力传感器
  • 响应时间:<1秒
  • 流量测量范围广,全尺寸流量范围从0-3 sccm到0–30000 sccm
  • 最大压力500 psig
  • All-metal seal flow path: 32µ inch Ra maximum surface finish
  • 共面阀提供更低的泄漏率
  • 多气体/多量程能力允许存储和预编程多达10气体校准和量程在一个单一的设备
  • DeviceNet® and analog communication options
  • 更大的共面阀控制范围降低了对过程中压力变化的敏感性,确保了一个更稳定的过程
  • 全金属润湿流道,以保持无颗粒、水分和污染的工艺条件
  • 该装置也可配置为质量流量控制器,用于校准或测试目的
  • 多气体/多量程功能可减少库存
  • 由共面阀提供的更大的控制范围减少了控制过程所需的零件数量
  • 紧凑,节省空间的足迹是很容易追溯
  • 数字通信提供了简单的调试和减少系统布线
  • Wide flow measurement range with full-scale flow rates from 0 - 3 sccm to 0 – 30,000 sccm
  • 多气体/多量程功能允许在单个设备上存储和预编程多达10个气体校准和量程

布鲁克斯型号SLA7840是一种高纯度金属密封仪器,在测量流量的同时控制压力。远程压力传感器信号,连同可调积分PID控制电子元件和共面控制阀,保持所需的设定压力。与其他金属密封控制器相比,共面阀降低了对压力变化的敏感性,并提供了更低的泄漏率,从而确保了一个更稳定的过程

PC115 & PC125 压力控制器技术参数

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性 能
精度 0.2 ±% FS
特 性
测量介质 Gas / Air
控制输入信号 Network / Fieldbus Output; DeviceNet™
控制输出数量 1 outputs
输入数量 1 inputs
连 接 & 显 示
用户接口 Ethernet / Networkable
更多规格
通信接口 DeviceNet™
产品类别 Pressure Controllers

产品替代

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PC115 & PC125 压力控制器资源附件
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