产品介绍
离子注入是制造半导体的关键步骤。高能注入可以加热晶圆并导致导致产量降低的问题。在注入过程中监测晶圆的温度，以确定所需的晶圆冷却量。小直径、快速响应、弹簧加载的热电偶（如上图所示）是监测离子注入工具温度的一种经济可靠的方法。
Ion Implant Thermocouple for Axcelis Implanter 温度探头技术参数
点击查看 0 个替代产品
| 规格项 | 参数值 | 勾选搜索替代 |
| 物 理 | ||
| 探头配置 | Straight Probe | |
| 更多技术信息 | ||
| 所用基础元件 | Thermocouple | |
| 更多规格 | ||
| 传感器终端类型 | Plug or Quick Connect | |
| Probe Features | Available as an Assembly | |
| 产品类别 | Temperature Probes |
产品替代
找到 个替代产品
声明：本产品内容及配图源自互联网收集或平台用户自行上传，目的在于传递更多信息，并不代表本网赞同其观点或证实其内容真实性，不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。如涉及作品内容、版权等问题，请联系本网处理，侵权内容将在一周内下架整改。
