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0 引言
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1 电容式MEMS倾角传感器温度特性分析
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2 神经网络搭建与优化算法
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2.1 RBF神经网络
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2.2 PSO算法
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2.3 GA
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3 GA-PSO-RBF神经网络温度补偿实现
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4 实验分析
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5 结论