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ＳｉＣ高温压力传感器动态性能研究
周行健 ，雷程 ，梁庭 ，钟明 ，李培仪
中北大学，中国航发四川燃气涡轮研究院
2024-10-10
面向航空发动机测试等恶劣复杂测试环境中动态压力测试需求，本文从芯片及封装结构设计、性能模拟仿真、器件制作工艺及传感器动态性能测试方面对碳化硅（ＳｉＣ）高温压力传感器动态性能进行了系统研究。仿真结果表明：传感器频响为３２． ４ ｋＨｚ，上升时间为４０ μｓ。测试结果表明：传感器的频响不低于５ ｋＨｚ，上升时间为９３ μｓ。此传感器具有动态响应频率高、冲击信号响应速度快特点，为航空发动机内脉动压力测量提供了技术支持。
  • 高温压力传感器
被引用: 485次
年份: 2024年
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内容目录

  • 引言

  • 1、传感器设计与仿真

    • 1.1 芯片设计与计算

    • 1.2 芯片仿真与分析

  • 2、封装结构设计与仿真

    • 2.1 封装结构设计

    • 2.2 动态性能仿真与分析

  • 3、传感器制作

  • 4、性能测试

  • 5、结论

核心点推荐
  • 航空发动机；碳化硅；高温压力传感器；动态性能；脉动压力测量