苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司微纳制造分公司 是国内首个商业化运作的6英寸纯MEMS器件研发、中试和批量化生产基地，开展包括硅基MEMS、以及氮化镓等三代半产品工艺研发、中试、量产服务，现有设备170余台套，形成了年产30000圆片的批量生产能力。
平台目前出货量排名全国MEMS代工厂前三，已服务110多家企业、350多颗产品，填补国内多个自主器件空白，部分产品世界领先，成为对中国MEMS产业支撑最大的产线，并由此积累了丰富的经验和专利。为进一步提升支撑产业的能力，平台将配合国家三代半创新中心建设，进行六寸线三代半升级及新建8寸产线，成为国内领先的MEMS、三代半综合中试量产平台，支撑我国5G通讯、电子电力、智能传感、激光雷达、3D成像及VR/AR等战略性新兴产业健康发展。
