鹏城半导体

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公司简介


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鹏城半导体技术(深圳)有限公司,由哈尔滨工业大学(深圳)、北京琨腾科技有限公司以及有多年实践经验的工程师团队共同发起创建。公司立足于技术前沿与市场前沿的交叉点,寻求创新与可持续发展,解决产业的痛点和国产化难题,争取产业链的自主可控。
公司核心业务是半导体材料、工艺和装备的研发设计、生产制造。
公司人才团队知识结构完整,有以哈工大教授和博士为核心的高水平材料研究和工艺研究团队;还有来自工业界的高级装备设计师团队和工艺工程师团队,他们具有20多年成套装备设计和生产制造经验。
公司依托于哈尔滨工业大学(深圳),具备先进的半导体研发平台和检测仪器,可以在高起点开展科研工作。公司已具有4000多平米洁净厂房,可开展半导体材料和组件的中试、生产,同时可进行半导体装备的生产和调试。
公司在半导体装备方面已形成多种产品系列,可供用户购买。


公司已投放市场的部分半导体设备


物理气相沉积(PVD)系列
磁控溅射、电子束、热蒸发镀膜机,激光沉积设备PLD

化学气相沉积(CVD)系列

MOCVD、PECVD、LPCVD、微波等离子体CVD、热丝CVD、原子层沉积设备ALD

超高真空系列
分子束外延系统(MBE)、激光分子束外延系统(LMBE)
成套设备
团簇式太阳能薄膜电池中试线、OLED中试设备(G1、G2.5)

其他
金刚石薄膜制备设备、合金退火炉、硬质涂层设备、磁性薄膜设备、电极制备设备

真空镀膜机专用电源系列

直流溅射电源、RF射频溅射电源、高精度热蒸发电源、高能脉冲电源(中频可调脉宽)