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SJI-SEMI 尚积半导体

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公司简介


传感专家


无锡尚积半导体科技有限公司 是一家专业研发、生产半导体国产自研设备的厂商,主营设备包括金属溅射沉积(PVD),加强型等离子化学气相沉积(PECVD),等离子干法刻蚀(ETCH)三个领域,服务于为全球的功率器件(Power Device),微机电系统(MEMS)、先进封装(Advanced Packaging)、化合物半导体(III-V)、射频(RF)、集成电路(IC)客户。设备具备优异的重复性和稳定性、低故障率、长使用寿命、易操作维修。得到客户的广泛认可。

尚积半导体的氧化钒(VOx) 薄膜沉积,RF领域薄膜电阻关键工艺如氮化钽(TaN)等薄膜沉积,TC-SAW SiO2薄膜沉积,高真空吸气薄膜(Getter)沉积,技术参数均超越进口设备,在客户端已经量产,市占率遥遥领先。

在功率器件市场,尚积半导体正面Hot Al设备填孔平坦化能力优异,深宽比做到3:1,超越进口设备;背面金属溅射BSM性能稳定,产能是进口设备近两倍。特别是在SiC领域,市占率遥遥领先。

尚积半导体在IC领域积累了二十余年的丰富经验,在高深宽比填孔、均匀性优化、应力控制、薄膜的多样性及复杂性等多个技术领域有很深的造诣。

尚积半导体的PECVD和ETCH设备在MEMS、RF、Power等领域可以替代进口设备,并提供更优的工艺解决方案。


企业文化

价值观  尚积——尚德务实,积极进取!

愿景  成为世界一流的半导体真空设备及先进工艺的整合者。

使命  专注于半导体细分领域的核心装备和关键工艺解决方案国产替代,并积极寻找并布局全新技术只做技术领导者。


发展历程

2008年,团队进入MEMS领域,开发出氧化钒薄膜溅射,打破国外技术垄断,市占率遥遥领先

2012年,团队开发出吸气薄膜溅射,打破国外技术垄断,成为该工艺国内的国产备供应商,市占率遥遥领先.

2019年,团队进入功率器件领域,开发出Hot AI填孔工艺金属薄膜溅射,成为该工艺国内第一家国产设备供应商,市占率遥遥领先.

2020年,团队开发出SiC背面金属薄膜溅射BSM,成为该工艺国内第一家国产设备供应商2021年,团队开发出SI背面金属薄膜溅射2021年,,团队开发出Si背面金属薄膜溅射,成为该工艺国内少有的国产设备供应商,性能优于国内友商.

2020年,团队开发出SiC背面金属薄膜溅射BSM,成为该工艺国内第一家国产设备供应商

2021年,团队开发出RF领域的TaN Lift Off薄膜溅射,成为该工艺国内少有的国产设备供应商

2022年,团队开发出滤波器TC-SAW领域的HD SiO2薄膜溅射,成为该工艺国内少有的国产设备供应商

2024年,团队开发出300MMPVD和CVD


核心团队

尚积半导体自主培养核心团队平均从业年资超过20年,长期深耕半导体设备行业,有海内外工作背景,前瞻的国际视野及及设备制造的产业链资源。


涉及业务

PVD设备,PECVD设备,Etch设备,ICPCVD设备