合肥致真精密设备有限公司（Truth Equipment Co., LTD）是从事高精度物理气相沉积设备及其关键组件研发和制造的高科技企业。公司主营产品为国产高端科研级和产业级磁控溅射设备，同时为合作伙伴和客户提供薄膜加工制造、工艺调试、设备软件开发等服务。公司致力于提升高端薄膜沉积设备的自主可控水平，推进产学研深度融合，将先进的科研成果转化为具有竞争力的产品，努力解决集成电路行业卡脖子的关键设备和工艺难题。
主要产品
科研级薄膜制备系统
科研级磁控溅射系统 桌面式磁控溅射系统 真空退火炉 脉冲激沉积系统 电子束蒸发系统
产业级薄膜制备系统
生产型磁控溅射系统 量产型磁控溅射系统
真空传输平台
晶圆真空传输平台 超高真空管道传输系统 其他超高真空互联系统
超高真空零配件
超高真空薄膜生长装置 超高真空样品台 真空馈入装置 超高真空传样杆 其他超高真空零部件
定制服务
工艺菜单定制 软件系统定制
