淄博高新技术产业开发区MEMS研究院 由淄博高新区管委会与清华大学机械工程学院于2010年11月共同建设，是微机电制造领域国内第一个校地共建研究院，是全国微纳制造、器件与系统协同创新中心成员单位。研究院聘任中国工程院院士、清华大学副校长尤政担任研究院名誉院长。
致力于新一代信息技术、现代工业和智能制造等领域，已组建由丁衡高院士、尤政院士等12名国际知名专家组成的专家委员会和30 余名国内知名专家组成的项目专家组，掌握体硅、压阻、压电等 MEMS 成套工艺，先后获得“教育部技术发明一等奖”和“山东省首批新型研发机构”，研发了继电器、压力计、高温高精度薄膜温度传感器和芯片级原子钟等 MEMS 器件；已建成了国内首条具有“国际先进水平”的 6 英寸硅基MEMS中试代工平台，其中洁净间面积 1540 ㎡其中：百级 340 ㎡、千级 400 ㎡、万级 700 ㎡、十万级 100 ㎡，已购置设备 70 余台，掌握关键单项工艺 300 余项，并通过 CNAS 认证。
提供 MEMS 产品工艺开发、版图设计、中试代工、分析测试等专业技术服务 ; 研制量程 0~1MPa 压阻式压力计工作温度 -55℃ ~150℃，满量程输出 70~80mV（5V 供电），线性度优于 ±0.15%FS, 迟滞和重复性优于 ±0.1%FS，零点温漂优于 0.05%FS/℃，综合精度优于 0.2%FS。
研究院设有“精密测试技术及仪器国家重点实验室MEMS分实验室”、“清华大学微米纳米技术研究中心MEMS分中心”和“智能微系统教育部重点实验室MEMS分实验室”等分中心和分实验室，提供MEMS器件小试、中试、代工、检测分析等专业服务，及微机电制造领域知识产权管理和工艺标准化等公共服务。
MEMS研究院投资建设了国内首条硅基4/6英寸兼容MEMS中试代工平台，超净规模国内一流；配备了国际一流设备的中试代工线，中试生产能力可达月产传感器十万只，产品的测试环境也居国内先进水平。
