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大湾区MEMS中试线(中试线)-8英寸

2022年11月,在深圳光明区举行的中国传感器与应用技术大会暨光明专项招商大会上,已敲定总投资额约15.33亿元的大湾区MEMS中试线项目将落户深圳光明区。


该项目规划建设一条约产能3000片的8吋MEMS中试线,并具备热电堆、MEMS压力、MEMS麦克风、MEMS惯性传感、微流控和微振镜等工艺平台。同时,总规模50亿元的智能传感器产业基金也将落地光明。


该项目也是深圳首条MEMS中试线,2023年8月最新消息,赛微电子旗下全资子公司赛莱克斯国际与深圳市重大产业投资集团有限公司关联主体等联合,通过投资设立 赛莱克斯深圳,在深圳投资建设MEMS项目,深圳大湾区MEMS中试线走向落地,并由赛微电子主导建设。相关信息参看《深圳首条MEMS中试线落地!》。