上海集成电路材料研究院

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上海集成电路材料研究院（以下简称“集材院”）是由中国科学院上海微系统与信息技术研究所、上海硅产业集团发起成立，聚焦集成电路衬底材料、工艺材料、前沿技术的研发与产业化，为集成电路材料发展提供坚实的创新策源。