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宁波启朴芯微系统技术有限公司 专注于MEMS器件设计、工艺开发、流片代工,建有全系8英寸MEMS工艺产线,兼容6/4英寸晶圆级加工,拥有光学类与SOI类特色工艺能力,提供对准光刻、深硅刻蚀、晶圆键合、薄膜沉积、减薄抛光、湿法腐蚀、氧化退火、激光划片、打线封装等工艺开发与稳定流片服务,可定制化开发Cavity SOI晶圆、光学滤波芯片、高端MEMS核心芯片及产品,提供一站式MEMS产品加速开发服务。
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