美国 Tystar 公司与世界一流大学和研究所合作开发多个有挑战性的化学气相沉积项目。近期Tystar取得的专有化学气相沉积解决方案包括：超高温氧化炉、锗硅、碳纳米管垂直阵列、谐振腔、侧向氧化。我们拥有超过30年的工程经验，Tystar炉系统布局图可以根据客户洁净室规划进行设计；够兼容2-8〃衬底，只需更换晶舟即可，而不用更换其它设备；出色的工艺控制系统可以完全保证优良的薄膜均匀性和最大程度降低颗粒生成；享有专利的恒温腔室设计能够有效降低特气和电能消耗，专用排风系统能够预防硅片表面颗粒的产生；在全球范围内安装有1600 多根炉管，Tystar公司一直致力于服务全球知名大学，科研院所和科技公司。
