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NTT-AT 提供的菲涅尔波带片有高分辨率,高聚光效率,适合被各种辐射光设施使用。其分辨率评价图被作为业界的标准,不只是学术研究,在X线的检查装置开发现场也被广泛使用。XUV镜片,XUV滤波片不仅对阿秒科学有着帮助,对下一代的光刻研究也有着重要作用。