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西北工业大学宁波研究院

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传感专家


西北工业大学宁波研究院 2019年9月注册成立,坐落于宁波高新区智造港A区,占地41亩,建筑面积4.5万平方米,是一所由宁波市人民政府与西北工业大学合作共建的科研事业单位。2020年8月研究院开园投用,设立柔性电子、智能芯片、无人航行、民用航天、卫星大数据、工业设计、文化遗产保护等7个技术中心,是浙江省首批高水平新型研发机构。

面向海内外科研机构,引育行业高端人才。研究院累计引进科研人才145人,其中:国字号人才16人、省市级人才19人;入驻全日制研究生120人;企业联合培养博士28名、硕士121名;入站博士后18名,出站2名;获2021年度宁波市服务人才先进单位称号,2022年度宁波市优秀博士后工作站称号。2022年9月,研究院获批国家级博士后科研工作站。

对接国家重大战略需求,做顶天立地的科研。研究院柔性电子发光材料团队开发了新一代TADF材料,突破国外OLED材料技术对国内面板企业的技术及专利限制;柔性印刷电子团队攻克低温银浆关键原料高分子树脂合成技术,实现浆料的自主可控;智能传感芯片团队建成了宁波首条硅基8英寸MEMS芯片加工线;卫星大数据团队承担了国家澳科一号卫星的研制任务;无人航行团队作为牵头单位获批科技部国家重点研发计划立项经费4500万元,“滑扑一体仿蝠鲼柔体潜水器技术与应用”获中国造船工程学会技术发明特等奖(第二单位)。

深入经济社会主战场,做服务企业的科研。研究院累计承担各类竞争性科研课题300余项,获竞争性科研经费2.8亿元。作为理事长单位牵头成立宁波市柔性电子学会,发展会员单位30多家。与中国一汽红旗、西安宏星电子、宁波卢米蓝等企业成立联合实验室,协同开展技术攻关。获中国(宁波)创新挑战赛冠军4项,亚军3项。承办宁波市经信局专精特新中小企业培育项目,服务企业300多家,培育高管515人。

突破关键核心技术,做高能级研发平台。获批有机电子与信息显示国家重点实验室宁波基地、浙江省柔性电子未来产业先导区培育(首批)、浙江省柔性电子重点实验室、OLED关键材料与器件浙江省工程研究中心、卫星与大数据应用浙江省工程研究中心、宁波市柔性电子浆料制造业创新中心、宁波市柔性电子技术中试基地、宁波市中小企业公共服务平台、宁波市卫星与大数据应用示范基地、宁波市巾帼科技创新工作室等15个创新平台。

促进科技成果转化,催生高科技企业。培育产业化项目28个,引进和孵化企业40余家,2022年园区产值超过3亿元。宁波卢米蓝新材料有限公司入选第四批国家级专精特新“小巨人”企业,宁波天擎航天科技有限公司估值超过10亿元,宁波维柔电子科技有限公司成长为宁波市高新区创业明星企业。2022年1月,中国产学研合作促进会授予西北工业大学宁波研究院“2021年度中国产学研合作创新奖”。

共同富裕,科技先行。西工大宁波研究院以引育行业高端人才、突破关键核心技术、催生高科技企业、打造原始创新策源地为使命,建成服务国家重大战略和共同富裕示范区的重要战略科技力量。


传感专家


MEMS产线(研发平台)-8英寸

西北工业大学宁波研究院智能传感芯片技术研究中心依托西北工业大学微机电系统及纳米技术双一流学科、极端环境智能微系统国家重点实验室(培育)宁波基地、空天微纳系统教育部重点实验室宁波基地等优势平台,建有国际先进、国内一流的硅基MEMS核心工艺加工服务平台,团队实力雄厚,具有MEMS器件结构设计、批量化代工、性能测试等研发加工能力。

西北工业大学宁波研究院MEMS加工平台位于宁波市国家高新区智造港A区,拥有世界顶级SPTS深硅刻蚀机、SUSS MA/BA8 Gen4光刻机、SUSS XB8键合机、全自动涂胶显影机、原子层沉积设备、两台电子束蒸镀设备(金/银/铝等金属、SiO2/Al2O3等介质)、两台激光隐切设备(硅/玻璃)、湿法腐蚀与清洗系统、椭偏仪、台阶仪等MEMS工艺专业设备,设备兼容8/6/4/2英寸晶圆加工,面向全国提供MEMS芯片结构设计、镀膜、光刻、刻蚀、划片、封测、应用开发等全方位技术服务。